據業內最新消息,全球最大的芯片機器制造商、荷蘭的AMSL證實,中國向荷蘭訂購一臺最新型的使用EUV(極紫外線)技術的芯片制造機器光刻機,訂貨單位是中芯國際(SMIC)。這也幾乎花掉了中芯國際2017年的所有利潤,該公司去年的凈利潤為1.264億美元。
不過在大家了解到 EUV 設備有多重要之后,就知道這筆錢花的有多值了。
EUV 作為現在最先進的光刻機,是唯一能夠生產 7nm 以下制程的設備,因為它發射的光線波長僅為現有設備的十五分之一,能夠蝕刻更加精細的半導體電路,所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星”。從2019年半導體芯片進入 7nm 時代開始(現在我們處于 10nm 時代),EUV 光刻機是絕對的戰略性設備,沒有它就會寸步難行。
在半導體工藝進入10nm節點之后,制造難度越來越大,傳統的193nm紫外光刻機也難以為繼,EUV極紫外光刻機成為突破制程工藝的關鍵。
光刻機曾經也是日本佳能、尼康公司的重要產品,不過現在的高端光刻機已經被ASML壟斷,在EUV光刻機上更是獨一份。日經新聞亞洲版今天報道稱,中芯國際(SMIC)已經向ASML公司訂購了一臺EUV光刻機,單價1.2億美元,預計在2019年初交付。
此前英特爾、三星、臺積電以及GF都向ASML下了EUV訂單,其中臺積電訂購了大約10臺,三星訂購了大約6臺,英特爾今年會引入3臺EUV光刻機,GF也下了訂單,不過日經新聞沒提到具體數量。
中國公司能買先進的光刻機?很多人聽到這個消息可能不太相信,因為網上一直有傳聞稱中國公司因為瓦森那協定的關系一直被禁止采購先進光刻機。對于這個問題,網上有很多爭議也有很多解答了,日經新聞報道的中芯國際采購EUV光刻機其實也不是新聞了。
去年臺媒電子時報采訪過中ASML中國區總經理金泳璇,后者辟謠稱ASML光刻機并沒有禁運問題,該公司對所有客戶都一視同仁,不存在有錢買不到的問題。他還透露了已經有中國客戶洽談購買EUV光刻機,如果訂單確認的話,那么最快在2019年就會有EUV光刻機進入中國晶圓廠,ASML對此表示樂觀。
兩邊對比的話,這家中國公司就是中芯國際,雖然該公司的14nm工藝要到2019年初才能量產,不過國內有需求EUV光刻機的幾乎只有他們了,2017年中芯國際表示他們已經在預研7nm工藝了,訂購一臺EUV光刻機做研究也是很正常的。
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原文標題:單價1.2億刀!中芯國際拿下EUV光刻機!
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