MEMS（即微電子機械系統）有時被稱為微機械，由機械和電氣組件組成，它們作為一個系統共同工作，以實現智能手機、噴墨打印機、醫療設備、健身器械、家庭自動化和汽車所需的功能，列出一些商業用途。MEMS是通過一種稱為微加工的工藝制造的，MEMS的尺寸可以從小于一微米（比人頭發的寬度小）到幾毫米不等。

這只是MEMS的許多商業和工業應用中的一小部分

微機電系統（MEMS）使智能手機屏幕能夠從橫向到縱向再向后旋轉，它們可以使手機充當方向盤，讓玩家在賽車電子游戲中“駕駛”繞過障礙物。得益于MEMS的優點，智能手機被用作導航、數字錢包，并通過使用指紋提供安全的方式登錄手機應用程序。

醫療行業在壓力傳感器應用中使用MEMS，包括一次性血壓監測儀、分娩期間測量宮內壓力以及使用呼吸機監測患者的呼吸。

可穿戴式健身器械利用MEMS（含加速度計和陀螺儀）結合全球定位系統（GPS）計算用戶的步幅和速度，并顯示用戶的路線。

房主們享受著MEMS技術提供的調節空氣質量和溫度、燈光和安全系統的便利。MEMS傳感器可以編程，根據讀取的結果調整空氣循環和恒溫器。家庭安全系統使用基于MEMS的運動傳感器，在強行進入導致運動變化或異常振動時發出警報。

汽車制造商將MEMS技術應用于許多應用中，包括評估車輛碰撞以進行碰撞檢測和安全氣囊展開，以及輪胎壓力監測系統、車輛動態控制（幫助駕駛員在車輛開始打滑時重新獲得控制）、語音系統，還有車內的氣候控制。

MEMS制造中的氮使用

MEMS器件的制造是在潔凈室（密封、全自動環境）內的工藝室（低壓、真空、溫控環境）中進行的。

所有工藝/真空室、機械和潔凈室必須無污染。生產過程中產生或使用的灰塵、氣載微粒、氣溶膠、化學蒸汽和殘余氣體必須從環境中除去，以保護所制造設備的完整性。

氮氣（N2）是一種無色無味的惰性氣體，是創造和維持MEMS制造所需無菌環境的關鍵成分。MEMS制造廠通常使用大量氮氣對制造環境進行消毒，除去腔室和氣體管線中的殘余氣體，并在工藝步驟之間除去工藝腔室中的雜質。

氧氣分析儀保護MEMS制造的完整性

制造員工必須持續監控工藝室和潔凈室中的氮氣水平，以保護這些區域不受雜質的影響，這些雜質可能會損害正在生產的MEMS的質量和可靠性，并防止氮氣泄漏，從而導致無菌環境失效，同樣，也會損害MEMS設備的完整性。

利用高質量的氧氣分析儀，MEMS制造人員可以測量工作區域的氮水平。氧氣分析儀傳感器應置于工藝/真空室和潔凈室內，以測量和控制氧氣水平。上海高傳電子代理的Ntron 氧氣分析儀Microx-231是一款量程為1PPM-25%vol的氧化鋯氧氣分析儀，壽命長達5年，精度為測量值的2%。典型應用：手套箱吹掃核泄漏檢測，3D金屬打印，波峰焊，氣體分離，惰性烘箱等場合。

同時，在制造設備工作廠區，實踐要求在存在氣體泄漏風險的任何地方安裝缺氧監控系統。因此，OXY-LC-A25-455氧化鋯氧氣傳感器特別適合在這樣的環境中使用，長達10年的使用壽命，響應速度小于4秒，儲存氮氣的任何地方，以及使用氮氣的所有區域都可以安裝這樣的氧氣傳感器測量系統，便于安全監控。

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