摘要

MEMS已被認為是最有前途的技術之一。在21世紀，它具有革命性的工業和結合以硅為基礎的微電子產品微加工技術。它的技術和微系統電子設備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統文章全部詳情，重點介紹其商業應用和器件制造方法。它還描述了MEMS傳感器和執行器的范圍可被MEMS器件感知或作用的現象概述了該行業面臨的主要挑戰。 ?

介紹 ?

本報告涉及微電子機械系統或MEMS的新興領域。MEMS是一種用于制造微型集成設備或系統的工藝技術機械及電子元件。?它們是用集成電路批量制造的加工技術，大小從幾微米到幾毫米不等。?這些設備(或系統)具有在微尺度上感知、控制和驅動的能力。在宏觀尺度上產生影響，MEMS的跨學科性質利用了設計、工程和制造具有集成電路等廣泛的技術領域的專業知識制造技術、機械工程、材料科學、電氣工程、 化學和化學工程，以及流體工程，光學，儀器儀表和包裝。MEMS的復雜性也體現在廣泛的市場和集成MEMS設備的應用程序。?MEMS可以在各種系統中找到汽車、醫療、電子、通信和國防應用。?當前MEMS 設備包括用于安全氣囊傳感器的加速度計，噴墨打印機頭，計算機磁盤驅動器等?。

MEMS被認為是21世紀最有前途的技術之一，通過將基于硅的微電子學與微加工技術相結合，具有徹底改變工業和消費產品的潛力。?它的技術和基于的微系統設備有可能極大地影響我們的生活和我們的生活方式。如果半導體微細制造被視為第一次微細制造革命，MEMS是第二次革命。