5 月 16 日消息，中國科學院宣布，上海微系統與信息技術研究所研究員武震宇、助理研究員王櫟皓團隊，開發了一種高性能的 10 毫米大口徑壓電 MEMS（微機電系統）快反鏡。

這種產品能夠實現更精確的激光光束閉環控制，可滿足激光星間鏈路對高精度、快速響應與穩定性的需求，為衛星通信終端提供小型化高性能解決方案。

快反鏡在衛星激光通信中承擔著光束指向、捕獲和跟蹤等重要作用，具備高指向精度、高工作帶寬和高光學質量等一系列極限性能指標。

據介紹，研究團隊在前期研究基礎上開發了一種 10 毫米大口徑壓電驅動 MEMS 快反鏡。該設計采用雙層異構集成技術以及晶圓級鍵合工藝，器件具備高線性度超高角度分辨率、快速階躍響應以及高重復定位精度。

在結構設計方面，研究團隊創新性引入力學定向結構形成應力集中區域，顯著優化了光束控制的精確性。

在性能表征方面，研究團隊首次針對 10 毫米大口徑鏡面動態變形進行表征，在準靜態驅動下最大動態表面形變僅 2 納米，滿足遠距離衛星激光通信對鏡面面型的嚴苛要求。

研究團隊表示，與傳統機械快反鏡及現有商用 MEMS 快反鏡相比，該器件優勢顯著，在航空航天領域具有重要的應用前景，未來將繼續針對鏡面尺寸、閉環控制以及器件可靠性進行優化研究。

審核編輯 黃宇