對于打算利用壓電平臺進(jìn)行高精度調(diào)節(jié)的一些用戶，在了解到壓電平臺的納米級高精度時(shí)，第一時(shí)間是一種“求之心切”的心態(tài)，想立刻將它集成到自己的系統(tǒng)里，然而在得知壓電平臺的微米級運(yùn)動(dòng)范圍時(shí)又“望而卻步”。

針對這種想用而又卻步的使用者，芯明天公司專門設(shè)計(jì)了壓電宏微復(fù)合平臺，這種平臺既得到了壓電平臺的納米級高精度，又擁有了幾十毫米甚至米級的運(yùn)動(dòng)范圍！ ?

注：分辨率的數(shù)值越低，分辨率越高。 ? ? ? ?

壓電宏微復(fù)合平臺組成介紹

壓電宏微復(fù)合平臺是將壓電平臺與手調(diào)或其他電動(dòng)平移臺相結(jié)合，且該結(jié)合不會損失壓電平臺的高分辨率。利用手調(diào)平移臺的壓電宏微復(fù)合平臺，一般手調(diào)行程為13mm，且它的分辨率達(dá)10μm，在壓電平臺精調(diào)行程范圍內(nèi)。在手動(dòng)進(jìn)行粗調(diào)后，再利用壓電平臺進(jìn)行納米級的精調(diào)。 ?

如上圖所示，壓電宏微復(fù)合平臺由壓電平臺、千分尺（或其他電動(dòng)調(diào)節(jié)臺）及移動(dòng)臺面組成，看似簡單的結(jié)構(gòu)，然而在設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造及裝配時(shí)卻有著非常高的難度。壓電平臺必須與千分尺及移動(dòng)臺面完美的結(jié)合，任何一處細(xì)節(jié)，都要考慮周全，即使只是一處的螺絲。 壓電宏微復(fù)合平臺的運(yùn)動(dòng)自由度在1至3維間自由選擇，組合式結(jié)構(gòu)使其在三維運(yùn)動(dòng)時(shí)軸間無耦合。兩種標(biāo)準(zhǔn)壓電宏微復(fù)合平臺，分別為P83、P84系列，兩者粗調(diào)行程相同，都為13mm，精調(diào)行程分別為25μm和100μm。??

標(biāo)準(zhǔn)品壓電宏微復(fù)合平臺中粗調(diào)行程標(biāo)準(zhǔn)為13mm，壓電精調(diào)行程為25μm或100μm可選。而對于壓電宏微復(fù)合平臺的參數(shù)等“別有他求”時(shí)，是可通過定制來得到的，例如宏動(dòng)粗調(diào)平臺的尺寸、外形、參數(shù)，以及壓電平臺的尺寸、外形、參數(shù)等，皆可定制。 下圖中為定制型壓電宏微復(fù)合平臺，采用壓電平臺與電機(jī)平臺相結(jié)合，未使用千分尺。它是XY二維運(yùn)動(dòng)，每軸的粗調(diào)行程達(dá)50mm/軸以上，精調(diào)行程68μm/軸。??

壓電千分尺，而壓電千分尺是沒有移動(dòng)臺面的壓電宏微復(fù)合平臺，對于一些用戶，已經(jīng)有自己的移動(dòng)臺面，只需壓電千分尺這種宏微致動(dòng)的促動(dòng)器，對于這種需求，就可以直接選擇壓電千分尺，并且可定制設(shè)計(jì)接口。
? ? ? ?fqj