在微觀世界的探索中,精準定位是成功的關鍵。壓電物鏡定位器在生命科學、材料科學、半導體等領域提供了高精度、高穩定性的物鏡定位解決方案,已成為眾多精密操作的得力助手。它采用先進的壓電陶瓷驅動技術,通過精確控制施加在壓電陶瓷上的電壓,使其產生極其微小但精確可控的伸縮變化。這些微小的伸縮經過巧妙的機械結構放大和傳遞,從而實現物鏡的高精度位移調整。這種基于逆壓電效應的工作方式,使得壓電物鏡定位器能夠在微觀尺度上實現精準定位,為滿足各種高精度應用需求提供了堅實的技術基礎。

P75.Z200S/K壓電物鏡定位器
P75.Z200S/K壓電物鏡定位器行程可達250μm,可帶動0.2kg以內的物鏡做Z向運動。內置高性能壓電陶瓷,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計,無摩擦,直線性好,可實現納米級分辨率、線性度及重復度,且同軸度高。物鏡補償量較小,具有毫秒級響應速度和超高聚焦穩定性。外觀采用緊湊型設計,體積小巧,易于集成到各種型號顯微鏡系統中,使用分離式螺紋適配器設計,可適配多種尺寸物鏡頭,為客戶提供靈活適配解決方案。產品外觀如下圖所示。

產品特點
位移范圍可達250μm
承載達0.2kg
空載諧頻可達389Hz
分離式螺紋適配器設計
同軸度高
產品應用
1.生物醫學研究
壓電物鏡定位器可應用在熒光顯微鏡、共聚焦顯微鏡、超高分辨率顯微鏡等設備中,用于精確定位細胞、組織樣本,幫助科研人員深入研究生物分子的結構和功能等。

2.半導體制造
壓電物鏡定位器可用于晶圓切割、光刻、激光直寫等生產制造工序,提高芯片的性能和生產良率。

3.材料科學領域
可搭配原子力顯微鏡進行材料表征、納米加工等應用,在微觀尺度研究材料的結構與性能。

4.光學領域
壓電物鏡定位器可應用于白光干涉。壓電物鏡定位器能夠實時、精確地調整物鏡位置,精確控制參考光路和測量光路的光程差。

技術參數
| 型號 | P75.Z200S/K |
| 運動自由度 | Z |
| 驅動控制 | 1路驅動,1路傳感/1路驅動 |
| 標稱行程范圍(0~120V) | 200μm |
| Max.行程范圍(0~150V) | 250μm |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 閉/開環分辨率 | 6nm/2.5nm |
| 閉環重復定位精度 | 0.05%F.S./- |
| 推/拉力 | 25N/10N |
| 運動方向剛度 | 0.1N/μm |
| 空載諧振頻率 | 389Hz |
| 閉環工作頻率(-3dB) | 20Hz/- |
| 空載階躍時間 | 25ms@200g/10ms |
| 承載能力 | 0.2kg |
| 靜電容量 | 6.5μF |
| 材質 | 鋼、鋁 |
| 重量 | 225g |
配套控制器
E53系列壓電控制器適用于驅動P75.Z200S/K壓電物鏡定位器。E53系列是針對小體積應用要求而設計的單通道控制器,采用24VDC/1.5A供電,模擬與數字控制,開閉環可選,體積小巧,外形尺寸不超過148×27.5×80mm^3,重量在240g~370g之間。機身帶有散熱區域,可迅速導出產生的熱量,上位機軟件支持二次開發,體積小巧,易于集成。根據功能不同可分為E53.A(模擬控制)、E53.B(模擬、伺服控制)、E53.C(模擬與數字控制)、E53.D(模擬與數字控制、伺服控制)四個版本,產品外觀如下圖所示。

審核編輯 黃宇
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