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P75.Z200S/K系列大行程、高精度壓電物鏡定位器

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2025-02-27 16:09 ? 次閱讀
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在微觀世界的探索中,精準定位是成功的關鍵。壓電物鏡定位器在生命科學、材料科學、半導體等領域提供了高精度、高穩定性的物鏡定位解決方案,已成為眾多精密操作的得力助手。它采用先進的壓電陶瓷驅動技術,通過精確控制施加在壓電陶瓷上的電壓,使其產生極其微小但精確可控的伸縮變化。這些微小的伸縮經過巧妙的機械結構放大和傳遞,從而實現物鏡的高精度位移調整。這種基于逆壓電效應的工作方式,使得壓電物鏡定位器能夠在微觀尺度上實現精準定位,為滿足各種高精度應用需求提供了堅實的技術基礎。

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P75.Z200S/K壓電物鏡定位器

P75.Z200S/K壓電物鏡定位器行程可達250μm,可帶動0.2kg以內的物鏡做Z向運動。內置高性能壓電陶瓷,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計,無摩擦,直線性好,可實現納米級分辨率、線性度及重復度,且同軸度高。物鏡補償量較小,具有毫秒級響應速度和超高聚焦穩定性。外觀采用緊湊型設計,體積小巧,易于集成到各種型號顯微鏡系統中,使用分離式螺紋適配器設計,可適配多種尺寸物鏡頭,為客戶提供靈活適配解決方案。產品外觀如下圖所示。

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產品特點

位移范圍可達250μm

承載達0.2kg

空載諧頻可達389Hz

分離式螺紋適配器設計

同軸度高

產品應用

1.生物醫學研究

壓電物鏡定位器可應用在熒光顯微鏡、共聚焦顯微鏡、超高分辨率顯微鏡等設備中,用于精確定位細胞、組織樣本,幫助科研人員深入研究生物分子的結構和功能等。

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2.半導體制造

壓電物鏡定位器可用于晶圓切割、光刻、激光直寫等生產制造工序,提高芯片的性能和生產良率。

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3.材料科學領域

可搭配原子力顯微鏡進行材料表征、納米加工等應用,在微觀尺度研究材料的結構與性能。

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4.光學領域

壓電物鏡定位器可應用于白光干涉。壓電物鏡定位器能夠實時、精確地調整物鏡位置,精確控制參考光路和測量光路的光程差。

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技術參數

型號 P75.Z200S/K
運動自由度 Z
驅動控制 1路驅動,1路傳感/1路驅動
標稱行程范圍(0~120V) 200μm
Max.行程范圍(0~150V) 250μm
傳感器類型 SGS/-
閉/開環分辨率 6nm/2.5nm
閉環重復定位精度 0.05%F.S./-
推/拉力 25N/10N
運動方向剛度 0.1N/μm
空載諧振頻率 389Hz
閉環工作頻率(-3dB) 20Hz/-
空載階躍時間 25ms@200g/10ms
承載能力 0.2kg
電容 6.5μF
材質 鋼、鋁
重量 225g

配套控制器

E53系列壓電控制器適用于驅動P75.Z200S/K壓電物鏡定位器。E53系列是針對小體積應用要求而設計的單通道控制器,采用24VDC/1.5A供電,模擬與數字控制,開閉環可選,體積小巧,外形尺寸不超過148×27.5×80mm^3,重量在240g~370g之間。機身帶有散熱區域,可迅速導出產生的熱量,上位機軟件支持二次開發,體積小巧,易于集成。根據功能不同可分為E53.A(模擬控制)、E53.B(模擬、伺服控制)、E53.C(模擬與數字控制)、E53.D(模擬與數字控制、伺服控制)四個版本,產品外觀如下圖所示。

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審核編輯 黃宇

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