mems加速度計(jì)的性能解答

線性度?

線性度主要是為了使加速度計(jì)有較好的線性輸出，即MEMS芯片輸出的電壓值（模擬或數(shù)字）與芯片受到的加速度值成正比。而事實(shí)上非線性因素是難以避免的，如彈簧的設(shè)計(jì)，阻尼系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，可變電容結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，還有信號(hào)的采集等或多或少都會(huì)產(chǎn)生一些非線性的效應(yīng)。而MEMS加速度計(jì)的關(guān)鍵技術(shù)就是使這些非線性效應(yīng)降低到能接受的程度。選用適當(dāng)?shù)?a href="http://www.3532n.com/v/tag/1472/" target="_blank">機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，或研究開(kāi)發(fā)一些新型的機(jī)械結(jié)構(gòu)和電路結(jié)構(gòu)，使實(shí)際器件的模型與理論模型更加接近將對(duì)器件的線性度有較大的提高。另外提高芯片的生產(chǎn)工藝對(duì)改善芯片的線性度也有重要的作用。

靈敏度與功耗?

影響芯片靈敏度取決于芯片的結(jié)構(gòu)與本身產(chǎn)生的噪聲。對(duì)于X軸加速度計(jì)，其X軸的揉度必須大（剛度小，容易變形），而Y軸和Z軸的揉度必須小（剛度大，不易變形），以確保Y軸與Z軸的變形不致于影響小加速度對(duì)X軸產(chǎn)生的位移響應(yīng)。這一點(diǎn)必須從機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和芯片加工的工藝上進(jìn)行改善與優(yōu)化。而噪聲的改善則是工藝水平所決定的因素。?功耗是影響芯片應(yīng)用范圍的一個(gè)重要因素，要使MEMS芯片市場(chǎng)化，MEMS加速度芯片就應(yīng)該向手持設(shè)備進(jìn)軍，因此必須降低芯片的功耗。lw