本文介紹了微機電系統(MEMS)加速度計的多項特性,它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些數據來說明MEMS技術的發展狀況及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態監控加速度計進行比較。
對MEMS工藝技術的投資加上設計創新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態監控應用的可行選擇。采用專門化MEMS結構和工藝技術,現在已實現諧振頻率高達50 kHz、噪聲密度低至25 -g/?Hz的加速度計。通過精心設計的信號調理電子電路,可以充分發揮此類新型加速度計的低噪聲優勢。
| SiA202 ? | 參數 | 備注 | 單位 | 最小值? | 典型值 | 最大值 |
| 量程 | ? | g | ±2 | ? | ? |
| 非線性 | IEEE ? Norm , %全量程 | % | ? | 0.3 | 1.0 |
| 頻率響應 | -3dB | Hz | 200 | ? | ? |
| 諧振頻率 | 過阻尼 | kHz | ? | 1.4 | ? |
| 振動整流誤差 | 均值頻率 ? [50Hz , 2kHz] | μg/g2 | ? | 1300 | ? |
| 噪聲 | 頻帶內 | μg/√Hz | ? | 7 | ? |
| 分辨率 | @1Hz | μg rms | ? | 7 | ? |
| 啟動響應時間 | 工作延時運動一次 | μs | ? | 40 | ? |
| 偏值(K0)溫度系數 | 測定范圍[-40℃, 85℃] | μg/℃ | ? | 75 | ? |
| 綜合偏值(K0)誤差 | 溫度范圍[-40℃, 85℃] | mg | ? | 0.14 | ? |
| 標度因數(K1)溫度系數 | 測定范圍[-40℃, 85℃] | ppm/℃ | 20 | 120 | 220 |
| 綜合標度因數(K1) | 溫度范圍[-40℃, 85℃] | mV/g | 1330 | 1350 | 1370 |
| 溫度傳感輸出電壓@20℃ | ? | V | 1.20 | 1.23 | 1.26 |
| 溫度傳感靈敏度 | ? | mV/℃ | ? | -4.0 | ? |
| 復位閾值電壓 | 低電平有效 | %VDD | ? | ? | 20 |
| 工作電壓 | ? | V | 3.2 | 3.3 | 3.4 |
| 工作電流 | ? | mA | ? | 2.3 | 4 |
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