一文讀懂高精度石英加速度計

石英加速度傳感器是用撓性支承技術稱為：石英撓性加速度傳感器。

石英撓性加速度計已廣泛應用于各類現代慣性體系中，導彈、飛機、艦艇、戰車、水下導彈等制導系統必須要有速度和位置信息，在要求低的場合人們使用空速度計、馬赫數傳感器、里程計等。

應用領域：航空航天高精度導航系統、慣性導航、航海定位、飛行姿態控制或地質勘探捷聯系統。

石英撓性加速度傳感的工作原理

是由軛鐵由溫度系數低導磁性能好的軟磁材料組成，磁鋼采用導磁性能比較良好的永磁材料用磨床加工。

撓性片的材料為溫度性能極好的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學腐蝕方法，也可以采用反應離子蝕刻工藝加工整個撓性片但造價很高。

加速度引起的差動電容變化量由伺服電路中差動電容檢測器檢測，為其輸出為電流，經電流積分器變成輸出電壓然后跨導補償放大器把電壓變成輸出電流，此輸出電流的大小與輸入加速度成正比。

石英撓性加速度傳感器為單軸力矩反饋式加速度計，通過檢測質量來檢測外界的加速度信號，再經伺服電路解調、放大，最后輸出電流信號正比于加速度信號。

石英撓性加速度傳感器的性能指標測量精度高??重復性佳、可靠性高體積小、重量輕寬壓供電功耗低?。

隨著對武器系統性能要求的提高，因此有了線加速度計可以安裝在運動物體內直接測量其加速度，進而得到速度和位置，其測量精度高，動態性能好，遠比空速度計、里程計好得多。