SEMICON CHINA2026

為期三天的全球半導體行業盛會SEMICON China 2026于今日圓滿落幕，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱：中微公司；證券代碼：688012）精彩亮相展會及同期活動，與全球半導體產業的領軍企業共襄盛會。

獨攬“杰出半導體設備獎”

展會期間，中微公司憑借在半導體設備領域的卓越貢獻，獨攬行業重磅獎項，成為唯一榮膺“杰出半導體設備獎”的企業。中微公司董事長兼總經理尹志堯博士上臺領獎，代表公司登臺接過這份象征實力的行業殊榮。

中微公司作為高端半導體設備領域的創新者與引領者，持續以核心技術突破推動產業進步。中微公司開發的 CCP 高能等離子體和 ICP 低能等離子體刻蝕兩大類，包括20多種細分刻蝕設備已可以覆蓋95%以上的幾百種刻蝕應用。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國內和國際一線客戶，可以覆蓋從 65納米到3納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。中微公司最近十年著重開發多種導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD、LPCVD、ALD、PVD、PECVD和EPI設備，并取得了非常快速、可喜的進展。中微公司開發的用于 LED 照明、顯示和功率器件外延片生產的 MOCVD設備早已在客戶生產線上投入量產，并在全球氮化鎵基 LED MOCVD 設備市場占據領先地位。此外，中微公司正在布局濕法設備并已全面布局光學和電子束量檢測設備，開發多種泛半導體微觀加工設備，包括在玻璃基板上制造微觀結構的大平板顯示設備等。這些設備都是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。

四款新品發布 備受行業關注

在此次全球半導體盛會期間，中微公司舉辦新品發布會，宣布推出四款覆蓋硅基及化合物半導體關鍵工藝的新產品，包括新一代電感耦合ICP等離子體刻蝕設備Primo Angnova、高選擇性刻蝕機Primo Domingo、Smart RF Match智能射頻匹配器以及藍綠光Micro LED量產MOCVD設備Preciomo Udx，進一步豐富了公司在刻蝕設備、薄膜沉積設備及核心智能零部件領域的產品組合及系統化解決方案能力，持續夯實平臺化發展的基礎，助力公司在規模化拓展的進程中實現高質量發展。

新品發布會上，中微公司的技術專家們與眾多行業精英齊聚一堂，圍繞公司在刻蝕、智能核心零部件、MOCVD等領域的最新突破與產品創新，展開了系統而深入的分享。發布會不僅展示了中微公司在半導體設備領域的深厚技術積累與持續創新成果，也為后續推動產業協同與技術進步提供了扎實的技術洞察與行業方向。

實力聚光 創新領航

此次展會，中微公司N3417展臺匯聚了超高人氣，憑借強大的技術實力和創新成果，再次成為備受矚目的焦點，吸引了眾多行業專家、合作伙伴以及業內外觀眾前來參觀。

觀眾通過融合海報、設備模型、視頻動畫與現場交流等多種形式，全方了解了公司在刻蝕、薄膜、MOCVD等微觀加工高端設備領域的前沿技術與扎實的研發實力。現場技術專家團隊圍繞公司的最新產品與技術創新，與參觀嘉賓進行了專業解讀與深度交流。

中微公司展臺

未來，中微公司將繼續堅持“三維立體生長” 與 “有機生長和外延擴展”相結合的戰略，持續鞏固在集成電路關鍵設備領域的核心競爭力和優勢，不斷拓展泛半導體關鍵設備應用，并通過持續的技術升級和深度的產業鏈合作進行新興領域探索，通過“科創企業五個十大”的學習和傳承，使企業總能量、對外競爭的凈能量最大化，實現高速、穩定、健康、安全的高質量發展，為2035年在規模、產品競爭力和客戶滿意度上成為全球第一梯隊的半導體設備公司打下堅實的基礎。

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備(上海)股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類、包括二十幾種細分刻蝕設備已可以覆蓋大多數刻蝕的應用。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國內和國際一線客戶，從65納米到3納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。中微公司最近十年著重開發多種導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD，LPCVD，ALD，PVD，PECVD和EPI設備，并取得了可喜的進步。中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備早已在客戶生產線上投入量產，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。此外，中微公司已全面布局光學和電子束量檢測設備，并開發多種泛半導體微觀加工設備，包括大平板顯示設備等。這些設備都是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。在近五年的全球半導體設備客戶滿意度調查中，中微公司總評分四次獲得第三，薄膜設備四次被評為第一。