據臺灣媒體報道，晶圓代工龍頭臺積電2020年營收同比增長超過30%，創下歷史新高，同時資本開支170億美元，也創下歷史新高。預計2021年隨著3nm產能建設，以及美國5nm工廠制造，資本開支將超過200億美元。

盡管其大客戶海思半導體2020年下半年遭遇美國封殺，導致產能空缺，但5G、WiFi 6、人工智能和超算對高端制程的需求持續強勁，臺積電7nm和5nm制程供不應求。展望今年，臺積電高端制程也被訂單排滿。

根據臺積電規劃，3nm將于2022年導入量產，廠房占地面積為35公頃，潔凈室面積超過16萬平方公尺，大約22座標準足球場大小。到2022年，產能估計超過60萬片12英寸晶圓，也是全球擁有最多EUV產能的超大型晶圓廠。

此外，臺積電5nm制程月產能為5萬片，預計到今年下半年達到10萬片。

資料顯示，臺積電在2016年資本開支首度突破100億美元，達到102億美元。2018年以來，在7nm等高端制程加持下，臺積電資本開支連續創下新高。
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