英唐智控正式發(fā)布了新一代的8毫米MEMS微振鏡產(chǎn)品，這款大尺寸振鏡產(chǎn)品將成為英唐智控邁入激光雷達市場的關鍵一步。

早在2011年英唐智控日本子公司英唐微技術有限公司開始研發(fā)用于HUD和Pico投影儀的MEMS微振鏡。隨著技術不斷迭代，后續(xù)開始研發(fā)用于汽車激光雷達的MEMS微振鏡，并在2020年成功實現(xiàn)量產(chǎn)。為了進一步加大在車載激光雷達領域的研發(fā)和生產(chǎn)力度，英唐智控于2022年募集專項資金，用于MEMS微振鏡產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)。此次新一代8毫米MEMS微振鏡的發(fā)布推動了英唐智控自主研發(fā)半導體戰(zhàn)略布局的進程，也為未來英唐智控（集團）的戰(zhàn)略發(fā)展增添了強大動力。

MEMS微振鏡的鏡面尺寸對激光雷達的測距能力至關重要，特別是在同軸結(jié)構(gòu)的激光雷達中，較大尺寸的MEMS微振鏡能夠增加出光和收光量，從而極大地擴展雷達的掃描距離并提升其測距能力。此次英唐智控推出新一代產(chǎn)品，相較已經(jīng)發(fā)布的1毫米、4毫米規(guī)格，具備更大的鏡面尺寸，適用于長距車載激光雷達, 擁有諸多優(yōu)勢：

? 驅(qū)動電壓小，F(xiàn)OV寬廣

采用電磁驅(qū)動，相較于靜電驅(qū)動、壓電驅(qū)動等驅(qū)動方式而言，電磁驅(qū)動所需的電壓僅3V，可靠性高，并且能實現(xiàn)更寬廣的FOV（30° x 25°）。

??H/V二維掃描，雙軸低串擾

采用雙軸獨立驅(qū)動的模式，可進行二維掃描。其中H軸屬于諧振式驅(qū)動，V軸屬于線性驅(qū)動(光柵掃描)；兩軸驅(qū)動信號之間低串擾。

??高效率&低功耗并存

H軸諧振頻率達800Hz，V軸驅(qū)動頻率為1~100Hz（10Hz）；鏡面鍍金，反射率達到97%， 可實現(xiàn)更高水平的成像精度和分辨率。同時，該產(chǎn)品功耗低至136mW，掃描更為高效。

??體積小重量輕，助力激光雷達小型化

封裝尺寸壓縮至24.8 x 23.14 x 7.58（mm），重量僅11g。在擺脫傳統(tǒng)體積較大的機械運動裝置的同時，減少了激光器和探測器數(shù)量，整體上使激光雷達體積和成本更可控。

??類車規(guī)級別可靠性

針對車載溫度要求高，以及鏡面直徑需求越來越大，懸臂梁結(jié)構(gòu)難以支撐的技術難點。英唐智控對單一MEMS微振鏡進行類車規(guī)級別（低溫-40℃，高溫105℃）內(nèi)部可靠性驗證，佐以10-2000Hz，3.11GRMS，20hrs, 6 axis規(guī)格的振動驗證。測試結(jié)果顯示，英唐智控此前發(fā)布的MEMS微振鏡產(chǎn)品在該級別要求的溫度、濕度、振動、沖擊等測試中均表現(xiàn)良好，能耐受該級別溫度變化、振動與沖擊，滿足激光雷達在車載工作環(huán)境中的可靠性要求。

在深入了解國內(nèi)激光雷達客戶需求的基礎上，結(jié)合英唐智控數(shù)十年技術沉淀，推出了全新一代大尺寸MEMS微振鏡產(chǎn)品，為行業(yè)帶來更先進的解決方案。

英唐智控的最新一代MEMS微振鏡產(chǎn)品在繼承前代產(chǎn)品可芯片化、無機械組件和毫米級尺寸等特性的基礎上，進一步優(yōu)化了產(chǎn)品的體積和成本，并在可靠性、量程等方面實現(xiàn)了技術的重大突破。

審核編輯：黃飛

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