據傳感器專家網獲悉，中國&全球最大的純MEMS晶圓代工廠賽微電子，昨日（9月13日）晚間發布公告，其控股子公司賽萊克斯微系統科技（北京）有限公司為某客戶制造的MEMS微振鏡順利完成小批量試生產階段，2023年9月13日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署采購訂單，賽萊克斯北京開始進行 MEMS 微振鏡的商業化規模量產。 據介紹，2022年4月，賽萊克斯北京與某國際知名激光雷達廠商及其子公司簽署《戰略合作框架協議》，開展面向汽車雷達MEMS微鏡產品的長期戰略合作；2023年8月，賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS微振鏡通過了客戶驗證，啟動首批MEMS微振鏡8英寸晶圓的小批量試生產。2023年9月，此款MEMS微振鏡完成了小批量試生產階段，實現商業化規模量產。

▲來源：賽微電子公告 MEMS微鏡（也被稱為“MEMS微振鏡”、“MEMS掃描鏡”）是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起的光學MEMS器件。MEMS微鏡的運動方式包括平動和扭轉兩種機械運動。 近年來，隨著智能化、電動化、網聯化的加速發展，汽車傳感器市場持續擴大，且基于MEMS等半導體制造工藝生產的先進傳感器正在逐步替代部分傳統類型傳感器。以汽車自動駕駛功能為例，激光雷達是其中用到的眾多傳感器之一，按照激光掃描方式可以分為機械、混合和固態三種類型。

隨著自動駕駛技術的不斷發展，小型化、低成本、高精度、固態化激光雷達逐漸出現并得到應用。MEMS激光雷達的核心光束操縱元件為MEMS微鏡，可通過半導體工藝進行集成化生產，極大地減少了激光雷達的體積且降低了成本，在車規級批量應用中存在優勢。 公司表示，盡管已在多領域實現MEMS制造技術的積累和突破，但賽萊克斯北京在整體上仍處于運營初期，產線的產能爬坡、良率提升是一個持續的過程，產能擴充及產量目標的實現尚需一定時間。

審核編輯 黃宇