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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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ADI:將異構制造的話題作為產業未來發展趨勢的一個重要觀察角度
ADI公司總裁兼首席執行官Vincent Roche在對2018年的技術趨勢展望一文《這些創新將影響我們2018年的生活》中,首次發出將異構制造的話題作...
ADI新產品為添新功能,應用MEMS陀螺儀和加速度計工作原理
在ADI公司的一間會議室中,Howard Wisniowski用一只手拿起比紀念郵票稍大一點的演示板,并停留在離桌面一米左右的空中。這塊演示板上安裝有A...
MEMS第一輪商業化浪潮始于20世紀70年代末80年代初,當時用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形,會影響其表面的...
2018-01-17 標簽:mems 1.2萬 0
Leon Foucault在1852年發明了世界首個陀螺儀,這種傳統的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認為,利用固定位置上的旋轉物體可以測量地球...
2018-01-17 標簽:mems 1.8萬 0
微機械電子系統是微電子技術的拓寬和延伸,它是將微電子技術和精密機械加工技術相互融合,并將微電子與機械融為一體的系統。MEMS將電子系統和外部世界有機地聯...
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