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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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一張圖讓你看懂MEMS加速度傳感器在車身穩(wěn)定系統(tǒng)中有何作用
隨著移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來了重大發(fā)展機(jī)遇。在致力于防患未然的汽車主動(dòng)安全領(lǐng)域,ESC(車身穩(wěn)定系統(tǒng))、ABS(防抱死系...
MEMS的概念和特點(diǎn)_MEMS的發(fā)展歷程和全球格局
2020年6月2日,上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市委員會(huì)審議通過蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司發(fā)行上市申請(qǐng)。
2020-08-31 標(biāo)簽:MEMSMEMS技術(shù) 7.4k 0
MEMS超聲波換能器為何是現(xiàn)在進(jìn)入大眾市場(chǎng)?
解釋上述時(shí)間因素主要有四點(diǎn)。首先,市場(chǎng)應(yīng)用正在推動(dòng)MEMS超聲波換能器發(fā)展。由于更便宜且更小的探頭誕生,醫(yī)療超聲波成像將實(shí)現(xiàn)平民化,全科醫(yī)生甚至家庭都可...
監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中MEMS振動(dòng)傳感器的構(gòu)建
監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中的振動(dòng)可以提供有關(guān)設(shè)備健康狀況的寶貴數(shù)據(jù),并可以節(jié)省成本的先發(fā)制人的維護(hù),但是有許多不同的方法來構(gòu)建這樣的系統(tǒng)。可以使用簡(jiǎn)單的壓電振動(dòng)傳感...
本視頻介紹三軸、高g MEMS加速度計(jì)ADXL372的三種常用工作模式。該器件針對(duì)撞擊和沖擊檢測(cè)而設(shè)計(jì);具有超低功耗特性,100Hz輸出數(shù)據(jù)速率時(shí)的功耗...
。在汽車領(lǐng)域,MEMS壓力傳感器營(yíng)業(yè)收入2013年預(yù)計(jì)達(dá)到12.6億美元,占當(dāng)年總體產(chǎn)業(yè)營(yíng)業(yè)收入的74%。
國(guó)產(chǎn)8英寸研發(fā)中試線工藝能力布局
由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建的國(guó)內(nèi)首條,全球領(lǐng)先,兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲,在打造中國(guó)完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)上,旨在進(jìn)一步推動(dòng)中...
2017-09-28 標(biāo)簽:mems 7.4k 0
使用 MEMS 射頻開關(guān)解決高級(jí)無(wú)線應(yīng)用的設(shè)計(jì)和集成問題
在千兆赫以上頻段的射頻設(shè)計(jì),以及建立模型和 S 參數(shù)用于仿真時(shí),合適的評(píng)估板是必要的設(shè)計(jì)工具,因?yàn)椴淮嬖谕昝赖哪P停膊豢赡茏プ?shí)際設(shè)計(jì)中所有瑣碎細(xì)節(jié)
國(guó)際首臺(tái)機(jī)載激光三維強(qiáng)度關(guān)聯(lián)遙感試驗(yàn)樣機(jī)研制成功
“十三五”期間,該技術(shù)有望在新體制車載激光三維成像雷達(dá)自動(dòng)駕駛等相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行成果轉(zhuǎn)化。
反射式MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無(wú)源器件,本內(nèi)容詳細(xì)介紹了MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用。
意法半導(dǎo)體LSM6DSV320X IMU傳感器在Linux平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)移植與姿態(tài)感知應(yīng)用實(shí)現(xiàn)
本期我們聚焦論壇網(wǎng)友短笛君的實(shí)測(cè)體驗(yàn)。他首先分享了MEMS上位機(jī)體驗(yàn)并進(jìn)行MLC數(shù)據(jù)預(yù)采集,隨后實(shí)現(xiàn)了LSM6DSV320X IMU傳感器在Linux平...
2025-12-11 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 7.2k 0
干法刻蝕解決RIE中無(wú)法得到高深寬比結(jié)構(gòu)或陡直壁問題
在 MEMS 制造工藝中,常用的干法刻蝕包括反應(yīng)離子刻蝕 (Reactive lon Etching, RIE)、深反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reacti...
SiTime推出新型振蕩器 進(jìn)一步向無(wú)人駕駛汽車的領(lǐng)域進(jìn)軍
MEMS振蕩器領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)SiTime Corporation宣布面向高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的汽車網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域,用來監(jiān)測(cè)航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動(dòng)力設(shè)備燃燒室內(nèi)的壓力,耐高溫和高可靠性是對(duì)其最基本的要求。
60+圖片,10大MEMS傳感器原理全解析!網(wǎng)上很難找到!
MEMS技術(shù)是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù),也是傳感器小型化、智能化、低能耗的重要推動(dòng)力,MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展, 如果沒有MEMS技術(shù),...
日本開發(fā)一種監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 通過MEMS傳感器和無(wú)線技術(shù)實(shí)現(xiàn)建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)
該建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)通過新開發(fā)的高精度MEMS傳感器,并結(jié)合920MHz頻段的無(wú)線技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)。
2018-02-06 標(biāo)簽:傳感器mems無(wú)線技術(shù) 7.1k 0
ADIS16355芯片MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集硬件設(shè)計(jì)
DIS16355慣性測(cè)量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結(jié)合,提供六自由度運(yùn)動(dòng)感知、嵌入式校準(zhǔn)與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補(bǔ)償,并大大提高信...
不同類型時(shí)鐘產(chǎn)品的特性及選擇時(shí)應(yīng)該注意哪些
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/程文智)不論我們?cè)O(shè)計(jì)的電子產(chǎn)品是應(yīng)用在云計(jì)算、無(wú)線LTE、數(shù)據(jù)中心,還是物聯(lián)網(wǎng)、汽車、醫(yī)療保健,或者是航空航天等領(lǐng)域,系統(tǒng)內(nèi)必然需...
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
壓力傳感器有多種不同的應(yīng)用,其中最常見的應(yīng)用是氣象監(jiān)測(cè)。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機(jī)里就有一個(gè)。你的手機(jī)使用壓...
2018-11-28 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 7k 0
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