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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3877個 瀏覽：198857次 帖子：462個

      mems技術

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      傲?？萍悸鋺粲谏虾＃疽劳猩虾Ｎ⒓夹g工研院8英寸MEMS工藝線及測試分析平臺，整合了國內外相關產業資源，通過自主工藝生產制造和最終產品性能、質量測試，...

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      犧牲層技術自20世紀80 年代美國加州大學伯克利分校開發至今，得到了快速發展。犧牲層技術是 MEMS 工藝設計中有別于傳統IC制造工藝技術之一

      2022-10-25 標簽：多晶硅mems壓力傳感器 7.9k 0

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      X射線光刻（X-ray lithography）技術是電子工業中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學...

      2022-12-28 標簽：光電子mems加速器 7.9k 0

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