目前，壓力傳感器、加速計、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計占汽車MEMS系統的99%。其五年增長率均在3%~12%。MEMS壓力傳感器是汽車中應用最多的傳感器，汽車用MEMS壓力傳感器的價格大概在5~7美元。在汽車領域，MEMS壓力傳感器營業收入2013年預計達到12.6億美元，占當年總體產業營業收入的74%。至少18個汽車應用領域將促進壓力傳感器的增長，包括：輪胎壓力，電子穩定控制系統中的剎車傳感器，側面氣囊，與日益嚴格的排放標準相關的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環壓力。

具體應用體現：

1)MEMS傳感器的大批量高精度生產和高可靠性及單價廉價，特別適宜在汽車電控系統中應用；

2)安全氣囊中的汽車安全氣囊感應器；

3)MEMS汽車微加速度計正替代以往的機電式加速度傳感器；

4)MEMS陀螺儀在高端汽車中的應用包括：懸架控制、翻滾；

5)汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動監測系統，MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎，在輪胎胎壁埋設一小塊感壓力敏芯片，自動測量輪胎氣壓、溫度、轉速和其它一些數據，并用特定的代碼發送出來；

6)發動機管理系統中的MEMS應用；

7)微機械陀螺是一種振動式角速率傳感器，在汽車領域的應用開發倍受關注，主要用于汽車導航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統；

8)汽車電控燃油噴射系統EFI要使用多重壓力MAP傳感器，監測發動機進氣歧絕對壓力，提高其動力性能，降低油耗，減少廢氣排放；

9)微型硅壓阻式MEMS壓力傳感器可用于發動機廢氣循環系統，替代陶瓷電容式壓力傳感器。