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標簽 > 等離子體
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產生的正負離子組成的離子化氣體狀物質，尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運動主要受電磁力支配，并表現出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產生的正負離子組成的離子化氣體狀物質，尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運動主要受電磁力支配，并表現出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體，利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間、空間物理、地球物理等科學的進一步發展提供了新的技術和工藝。
等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質第四態。物質由分子構成，分子由原子構成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負電的電子構成。當被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，就像下課后的學生跑到操場上隨意玩耍一樣。電子離開原子核，這個過程就叫做“電離”。這時，物質就變成了由帶正電的原子核和帶負電的電子組成的、一團均勻的“漿糊”，因此人們戲稱它為離子漿，這些離子漿中正負電荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。
遠程等離子體刻蝕技術通過非接觸式能量傳遞實現材料加工，其中熱輔助離子束刻蝕（TAIBE）作為前沿技術，尤其適用于碳氟化合物（FC）材料（如聚四氟乙烯PT...
在5納米以下的芯片制程中，晶體管柵極介質層的厚度已縮至1納米以下（約5個原子層）。此時，傳統二氧化硅（SiO?）如同漏水的薄紗，電子隧穿導致的漏電功耗可...
隨著集成電路特征尺寸的縮小，工藝窗口變小，可靠性成為更難兼顧的因素，設計上的改善對于優化可靠性至關重要。本文介紹了等離子刻蝕對高能量電子和空穴注入柵氧化...
碳化硅（SiC）作為一種高性能材料，在大功率器件、高溫器件和發光二極管等領域有著廣泛的應用。其中，基于等離子體的干法蝕刻在SiC的圖案化及電子器件制造中...
等離子體刻蝕和濕法刻蝕是集成電路制造過程中常用的兩種刻蝕方法，雖然它們都可以用來去除晶圓表面的材料，但它們的原理、過程、優缺點及適用范圍都有很大的不同。...
等離子體，英文名稱plasma，是物質的第四態，其他三態有固態，液態，氣態。在半導體領域一般是氣體被電離后的狀態，又被稱為‘電漿’，具有帶電性和流動性的特點。
等離子體蝕刻機需要與濕法蝕刻相同的元素：化學蝕刻劑和能量源。從物理上講，等離子體蝕刻機由室、真空系統、氣體供應、終點檢測器和電源組成（如下圖所示）。晶圓...
激光誘導擊穿光譜(英語:Laser-induced breakdown spectroscopy，LIBS) 技術，通過超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離...
實驗名稱：等離子體壓力傳感器及其在動態壓力測量中的應用研究方向：壓力傳感器測試目的：如何準確測量高超沖壓發動機隔離段和航空發動機壓氣機部件的內部流場是提...
ICP-RIE全稱是電感耦合等離子體刻蝕機，是半導體芯片微納加工過程中必不可少的設備，可加工微米級納米級的微型圖案。
等離子體作為物質的第四態，在核聚變、材料加工、半導體制造等前沿科技與工業領域中扮演著關鍵角色。如何精準、實時地監測其運動軌跡與物理狀態，一直是科研與工程...
射頻電源：高科技領域的能量基石 在當今高科技產業的精密制造殿堂中，有一種設備雖深藏功與名，卻扮演著無可替代的“能量基石”角色。從我們手中智能手機的芯片...
SPS-5T-2000是一款溫度可達2000℃、壓力最高5T的智能放電等離子體熱壓燒結系統（Spark Plasma Sintering），其原理是利用...
在核聚變能源成為全球能源轉型重要方向的今天，托卡馬克等核聚變研究裝置的穩定運行與技術突破，離不開對等離子體狀態的精準把控。等離子體診斷作為解析等離子體物...
你是否想象過，有一種特殊的“火焰”，它并不灼熱，卻能瞬間讓材料表面煥然一新；它不產生煙霧，卻能精密地雕刻納米級的芯片電路？這種神奇的“火焰”，就是今天我...
傾佳先進等離子體電源系統：市場動態、拓撲演進與碳化硅器件的變革性影響
傾佳先進等離子體電源系統：市場動態、拓撲演進與碳化硅器件的變革性影響 傾佳電子（Changer Tech）是一家專注于功率半導體和新能源汽車連接器的分銷...
中微公司ICP雙反應臺刻蝕機Primo Twin-Star取得新突破
近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，股票代碼“688012.SH”）宣布通過不斷提升反應臺之間氣體控制的精度， ICP雙反應...
等離子體（Plasma）是一種電離氣體，通過向氣體提供足夠的能量，使電子從原子或分子中掙脫束縛、釋放出來，成為自由電子而獲得，通常含有自由和隨機移動的帶...
2025-01-20 標簽：等離子體 1.0萬 0
射頻等離子體（RF等離子體）是在氣流中通過外部施加的射頻場形成的。當氣體中的原子被電離時（即電子在高能條件下與原子核分離時），就會產生等離子體。這種電離...
昊量光電新推出基于表面等離子體激元（SPP）和硅光子集成技術的高速等離子體電光調制器，高帶寬可達145GHz，可被廣泛用于通信，量子，測試測量等領域，不...
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