快反鏡是光電精密跟蹤系統中重要的一部分，用來精確控制光束方向。快反鏡響應速度快，控制精度高。可以用來校正光路中的傾斜誤差，也可以用來穩定光束的指向，還可以用在快速跟蹤系統中。快反鏡在驅動元件作用下控制反射鏡面的快速高頻轉動，實現光束的高速精確指向、穩定和跟蹤。

壓電陶瓷驅動器是快反鏡理想的驅動方式。壓電陶瓷驅動的快反鏡由反射鏡、柔性鉸鏈、壓電陶瓷驅動器、基座、電阻應變片式傳感器和電路結構等組成。如下圖所示：

在快反鏡中使用的壓電陶瓷需要納米級別的高分辨率。壓電陶瓷的使用可以顯著提高諧振頻率和靈敏度。壓電陶瓷的工作利用了壓電效應。某些物質受到外力時，不僅幾何尺寸發生變化，而且內部極化。表面電荷出現形成電場。當外力消失時有重新回復到不帶電狀態，這種效應被稱為正壓電效應。相反地，當對壓電晶體施加電場時，不僅產生了極化還產生了形變，這種效應被稱為逆壓電效應。

給壓電陶瓷加電壓時，壓電陶瓷會有一個可以達到納米級別的位移。這個位移和所加的電壓大致成正比。在實際應用中，為了增大位移和輸出力，常常采用堆疊型壓電陶瓷執行器。和傳統的電機結構相比，壓電陶瓷不需要傳動機構，位移控制精度高；響應速度快，無機械吻合間隙，可實現電壓隨動式位移控制；有較大力輸出；功耗低，且位置保持情況下幾乎無功耗；是固體器件，容易和電源、傳感器、微機等實現閉環控制。

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