介紹

本文討論了我們華林科納用于再循環蝕刻浴的過濾器的物理、性能和成本特性。然而，要為生產操作選擇合適的過濾器，還需要蝕刻應用知識和實踐經驗。

摘要

它的初始成本應該很低;它不應降解或“插入”化學品，因此不應需要更改。在實際應用中，其中一些特性是相互排斥的，必須進行權衡。例如，顆粒保留率和流速是矛盾的：過濾器的保持力越強，流速越低。對低成本的需求與在腐蝕性化學環境中實現低可提取物所需的過濾材料的高成本相沖突。為了實現下游清潔，過濾器必須在清潔的環境中制造，并在制造后的過程中進行清潔，這也增加了成本。本文探討了這些問題，并描述了用于再循環緩沖氧化物蝕刻 (BOE) 應用的過濾設備的測試。在這里，流速和無顆粒非常重要，并且由于許多蝕刻浴配方的高表面張力和低氣體溶解度，過濾器潤濕性也很重要。

過濾器特性

根據應用的不同，過濾器的某些特性比其他特性更重要。對于 BOE REB，流速、可萃取物和顆粒截留率非常重要，但如上所述，過濾器潤濕性也很重要。在接下來的部分中，過濾器屬性按 REB 應用程序的重要性順序進行描述。

流量

通過過濾器的流速會影響其顆粒去除率。在高流量下，浴液周轉速度更快，顆粒去除率更高。高流量還會增加攪拌并消除浴槽中的死區。流量由管道、噴射器和過濾器 的阻力控制。降低過濾器阻力會增加流量，尤其是當過濾器阻力最初高于管道阻力時。

潤濕性

膜很難用 40% NH4F 自然潤濕，因為它是一種接近飽和的溶液，表面張力為 95 達因/厘米 [6];一些膜過濾器實際上在 NH ^ F 的濃縮浴中去濕。通過使用具有較低表面張力和較高氣體溶解度的 BOE 溶液(即氟化銨濃度較低的溶液)，可以消除導致流動損失和晶片上顆粒數量增加的去濕現象。

完整性可測試

在 REB 中安裝過濾器之前進行完整性測試是值得的完整性測試可能表明過濾器故障和顆粒通過的可能性。對于 REB 應用，其中通過小的過濾器缺陷的顆粒將在下一次浴槽周轉中被去除，完整性測試并不重要-;這里完整性測試只需要檢測過濾器的主要故障。雖然測試晶片表面的顆粒監測可以達到同樣的目的，但完整性測試的優勢在于可以將過濾器明確識別為顆粒問題的來源。

審核編輯：湯梓紅