現如今，科技發展的腳步快到你難以想象，世界已然邁入了電子信息化時代，無論是在工業應用領域還是消費應用當中，嵌入式都是未來電子應用領域發展的大勢所趨。提到這一領域，想必大家對MEMS傳感器技術都不陌生，Aigtek今天想給各位工程師們科普的主角就是它，一起接著往下看吧~

什么是MEMS傳感器

MEMS是Micro Electro Mechanical System的縮寫，簡稱微機電系統，是按功能要求在芯片上把微電路和微機械集成于一體的系統。MEMS基于光刻、腐蝕等傳統半導體技術，融入超精密機械加工，并結合力學、化學、光學等學科知識和技術基礎，使得一個毫米或微米級的MEMS具備精確而完整的機械、化學、光學等特性結構。高壓放大器常被應用在MEMS領域。

MEMS傳感器及局部顯微放大

MEMS傳感器工作原理

MEMS產品主要可以分為MEMS傳感器和MEMS執行器，其中傳感器是用于探測和檢測物理、化學、生物等現象和信號的器件，而執行器是用于實現機械運動、力和扭矩等行為的器件。

MEMS傳感器分類

MEMS傳感器的應用

MEMS傳感器的應用領域很廣泛，是獲取信息和實現交互的關鍵器件，它有效的推動了機械系統的微型化，目前MEMS傳感器與高壓放大器配合已應用于汽車電子、消費電子、航空航天、生物醫學、工業等眾多領域。

應用案例：MEMS光柵應用測試

MEMS光柵是一種運用硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數（如周期、光柵等常數）發生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現光柵的可編程應用。但在實際工作時需要增大驅動電壓，驅動電壓甚至達到上百伏，因此想要保證MEMS光柵工作性能可靠，性能優越的驅動放大器是關鍵。

作為國內測試儀器的民族品牌，Aigtek安泰電子始終走在領域前沿，旗下自主研發生產的ATA-2000系列高壓放大器擁有DC-1MHz的帶寬，200Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型MEMS相關應用的動態驅動研發測試的理想選擇。

同時該系列功率放大器，可輸出理想的單端及差分信號，并設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為MEMS測試客戶應用，提供的完善的阻抗匹配網絡，方便用戶選擇對應的匹配阻抗。

ATA-2000系列高壓放大器的增益數控可調，通過0.1的步進對于信號進行精準放大，方便用戶調試。同時具有100:1的信號監控口，方便用戶實時觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡單易懂。

相信在不久的將來MEMS傳感器技術將會更加多的融入我們的日常生活，為我們的世界帶來不一樣的改變，Aigtek安泰電子也將用最精良的儀器，助力MEMS傳感器測試技術的發展，未來可期！

通過上述介紹，相信您對于MEMS傳感器相關知識已有了清晰的了解，更多精彩內容請持續關注安泰電子。

審核編輯：符乾江