實驗名稱：基于積分器的壓電陶瓷執行器位移自感知的實驗驗證

測試設備：電壓放大器、壓電陶瓷執行器、積分器、電容位移傳感器、低通濾波器、計算機等。

實驗過程：

圖1：基于積分器的壓電陶瓷執行器位移自感知實驗系統

實驗系統如圖1所示，由計算機、A/D及D/A數據采集卡、電壓放大器、二級隔振工作臺、壓電陶瓷執行器、積分器、放電回路、電容位移傳感器、減法放大器、低通濾波器組成。其中銅片、電容位移傳感器、減法放大器、低通濾波器構成獨立的測試系統，用來同基于積分器的壓電陶瓷位移自感知執行器的感知結果進行比較。

實驗結果：

圖2：驅動電壓波形不同時積分器檢測的電荷和電容位移傳感器檢測的位移

圖2（a）一2（f）示出了驅動頻率為5Hz、驅動電壓為幅值衰減的正弦波、幅值衰減的三角波和任意波形時，積分器檢測的電荷和電容位移傳感器檢測的位移。

由圖2各圖可見，積分器和電渦流位移傳感器各自獨立獲得的執行器位移曲線的一致性較好。可見，基于積分器的自感知方法能夠很好地檢測出壓電陶瓷執行器的位移信號。

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圖：ATA-2161高壓放大器指標參數

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審核編輯 黃宇