智能制造和新制造就是要通過各種傳感器讓機器能和人對話? 當然,一般慣性分析會結合空間算法檢測應用。通過空間算法檢測應用,可以保證機器的安全性,做預維護,量產保證以及質量監控。
基于對MEMS傳感器以及模擬電路設計經驗的積累,于近兩年發布了一系列超低噪聲的mems加速度計。它們可以用來替代傳統的石英傳感器,可以說是列劃時代的產品,使得智能制造成為可能。與傳統的石英傳感器相比,MEMS的傳感器有非常多的優勢,比如說MEMS可以低頻甚至是直流信號,但石英的就不行,這是受其設計原理的限制。再就是耐沖擊的能力;隨著時間和溫度變化,傳感器的穩定性;整個測量范圍內的線性度;刻度因子的平坦度;物理尺寸;傳感器是否能自檢等等。這些都是MEMS傳感器的優點。還有最重要的一點就是價格,由于石英傳感器需要手工制作,既無法保證一致性,又使得其成本很高,很難享受規模效應所帶來的好處,但MEMS傳感器是采用的標準半導體工藝,很容易利用規模效應來控制成本,使得其與石英傳感器相比,有明顯的價格優勢。這樣,才能讓所有的機器說話,因為其成本是可接受的。
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