MOCVD設(shè)備國產(chǎn)道路曲折

　　過去的6~7年中，中國用于進口MOCVD設(shè)備的經(jīng)費約合100億元人民幣，其中各地方政府補貼經(jīng)費高達70億元左右。

　　完整的MOCVD設(shè)備進口免稅，而國產(chǎn)MOCVD制造過程中需要進口的一部分關(guān)鍵零部件需繳納關(guān)稅，使得現(xiàn)階段國產(chǎn)設(shè)備處于劣勢。

　　對于很多像LED、PV、電動汽車、通訊（包括無線通訊和光纖通訊）等高科技領(lǐng)域來說，MOCVD無疑是非常重要和關(guān)鍵的設(shè)備，因為很多相關(guān)系統(tǒng)中所用到的器件和芯片都出自于MOCVD所生長和制作出的外延片。可是多年來，國內(nèi)的MOCVD一直靠進口，國外設(shè)備占據(jù)了絕大部分份額，這種現(xiàn)狀急需改變。

　　巨頭壟斷市場

　　國產(chǎn)設(shè)備處境艱難

　　過去6~7年中，中國用于進口MOCVD設(shè)備的經(jīng)費約15億美元，其中各地方政府補貼經(jīng)費高達70億元左右。

　　當前，美國的VEECO和德國的Aixtron公司壟斷了全球近95%的市場。在過去的6~7年中，中國用于進口MOCVD設(shè)備的經(jīng)費大約15億美元，約合100億元人民幣，其中各地方政府補貼經(jīng)費高達70億元左右。為了半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，花費巨資購買所需要的關(guān)鍵設(shè)備本來無需質(zhì)疑，可惜的是，我們花了這么多的錢，最后還是沒有屬于自己的核心設(shè)備技術(shù)和關(guān)鍵零部件。

　　當已有的設(shè)備和技術(shù)落后了，不再有競爭優(yōu)勢了，甚至被淘汰了，或是我們需要更多設(shè)備的時候，我們還是要繼續(xù)花費巨資向外國公司購買新的設(shè)備。當我們需要做些改進或者要加入自己的技術(shù)和想法時，原廠“敲詐勒索”要求付出高額的費用才配合我們做些有限的變動和修改，通常他們所要的費用是我們一般國內(nèi)公司所無法承受的，最后結(jié)果是不了了之，保持原貌。所以說，這么多年來，中國應(yīng)該是他們最大的客戶，或者是一流的客戶，但是得到的卻是三流的待遇。在這種境況下，中國MOCVD的用戶很難開發(fā)出屬于自己的真正的核心技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)，因為真正重要的工藝技術(shù)一定是與設(shè)備捆綁在一起的。國家主管部門看到了MOCVD的重要性，因此在“十二五”規(guī)劃中明確提出，到2015年實現(xiàn)MOCVD設(shè)備的國產(chǎn)化。

　　2013年，國內(nèi)在MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化方面向前邁進了一大步，并且在市場推廣方面取得了階段性的成果。光達光電、中微半導(dǎo)體、中晟等公司所研制的MOCVD設(shè)備先后得到了各自用戶的認可和驗證，并得到了很多正面的評價，一掃過去的陰霾。大家從大量的實驗結(jié)果中看到了MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化的希望。正是這些公司最近幾年來不懈的努力，將多年來人們對于MOCVD是否能夠國產(chǎn)化的疑云驅(qū)散，使得MOCVD國產(chǎn)化逐步成為現(xiàn)實。從技術(shù)的角度，在初期，國產(chǎn)的MOCVD主要是在現(xiàn)有的成熟的平臺上進行嘗試和開發(fā)，有的采用高速旋轉(zhuǎn)技術(shù)，有的以噴淋頭技術(shù)為主，還有的是采取水平層流式，或是以上3種技術(shù)中某2種技術(shù)的嫁接與組合。不論如何，事實證明，現(xiàn)有國產(chǎn)設(shè)備在基本工藝和產(chǎn)出的外延片芯片的性能指標上都已經(jīng)達到了現(xiàn)有進口設(shè)備的水平。所以說，MOCVD國產(chǎn)化在技術(shù)開發(fā)和技術(shù)落地上已經(jīng)取得了初步的成功，并完成了第一階段的目標。當然在大批量生產(chǎn)、可靠性、重復(fù)性、成本降低、關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化，進一步的創(chuàng)新和各項指標優(yōu)化等方面還有大量的工作要做。

　　“崇洋”心理

　　阻礙國產(chǎn)設(shè)備前進

　　人們對于進口設(shè)備的迷信和對于國產(chǎn)設(shè)備的懷疑，使得寧愿進口設(shè)備也不想去冒任何風(fēng)險。

　　MOCVD的國產(chǎn)化面臨著諸多挑戰(zhàn)，除了上面提到的技術(shù)開發(fā)和落地外，更大的挑戰(zhàn)在于人們對于國產(chǎn)MOCVD的懷疑。

　　先從人們對于進口設(shè)備的迷信和對于國產(chǎn)設(shè)備的懷疑談起。由于各種歷史和客觀的原因，目前的現(xiàn)實是中國人普遍迷信和喜愛進口商品。這一點，大家心知肚明。更重要的是，不論是Aixtron公司還是Veeco公司，在MOCVD設(shè)備開發(fā)和生產(chǎn)制造方面都有近30年的歷史積累，一家只有3年左右歷史的中國MOCVD公司如何能夠生產(chǎn)出可以與具有30年經(jīng)驗的國際公司的成熟產(chǎn)品競爭的MOCVD設(shè)備，在很多人的心目中都會是一個大大的問號。所以，開始時大家抱著懷疑和觀望的態(tài)度，等別人試好了，成熟了再用，都想做受益者，不想?yún)⑴c，不想付出，國產(chǎn)的MOCVD怎么會有機會呢？所以，為了要大家接受和相信國產(chǎn)的MOCVD，MOCVD的生產(chǎn)廠家必須付出相當大的代價去做，包括補貼給愿意試用的客戶，承擔所有或大部分費用。而且這樣做，還不一定能夠簽下來訂單。這樣的現(xiàn)實使得MOCVD制造公司承受了巨大的財務(wù)和心理壓力，同時也承擔了許多的商業(yè)不確定性和風(fēng)險。

　　一免一減一繳

　　讓“國貨”淪陷

　　完整的MOCVD設(shè)備進口免稅且有地方補貼，而購買國產(chǎn)設(shè)備需要全額支付。

　　再看看產(chǎn)業(yè)與市場環(huán)境方面。由于2009年從揚州開始對于進口MOCVD進行高額補貼，各地紛紛效法，致使在2010年到2012年這3年期間，中國MOCVD的采購數(shù)量呈現(xiàn)井噴的現(xiàn)象。這期間中國總共進口了大約700臺MOCVD設(shè)備，成為全球最大市場。Aixtron和Veeco2家公司也賺得缽滿盆滿。事實上，這段時間中國的LED照明產(chǎn)業(yè)并不需要那么多MOCVD機臺。由于補貼額度巨大，加之有最低采購數(shù)量的要求，很多公司也只好盲目采購了大量的MOCVD機臺，從而造成了MOCVD的產(chǎn)能階段性過剩。

　　2012年的下半年到2013年，中國LED照明行業(yè)也出現(xiàn)了類似于“三年自然災(zāi)害”的現(xiàn)象，產(chǎn)業(yè)一片蕭條。中國的市場需求沒有那么大，歐洲、美國、日本的經(jīng)濟又不景氣，MOCVD的外延芯片產(chǎn)能遠遠大于實際市場應(yīng)用需求，造成了中國LED行業(yè)從來沒有過的低迷。最嚴重的時候，MOCVD的使用率只有30%左右，大部分設(shè)備閑置。正是在這樣的大環(huán)境下，國產(chǎn)MOCVD橫空出世。所以，有人感嘆說“中國的MOCVD設(shè)備生不逢時”。由于取消的訂單和一些LED芯片廠擴產(chǎn)計劃的改變，造成了國際那2家公司有大量存貨。他們在財務(wù)賬目處理完后，進行了“半價”處理，這使得MOCVD市場環(huán)境更加惡劣。而且，從關(guān)稅的角度講，目前，完整的MOCVD設(shè)備進口是免稅的，而國產(chǎn)MOCVD制造過程中需要進口的一部分關(guān)鍵零部件是需要繳納關(guān)稅的。這一免一減一繳，使得現(xiàn)階段國產(chǎn)MOCVD在成本和價格上幾乎無法與進口的設(shè)備競爭。更加嚴重的是，原來有些地方政府對于MOCVD的補貼政策還沒有執(zhí)行完，按照原來計劃，他們手里還有100~200臺MOCVD的補貼額度沒有用完，還可以使用。也就是說，按照原來的方案，如果買進口MOCVD設(shè)備可能每臺能得到500萬~1000萬元的補貼，但是如果買國產(chǎn)的，可能要支付全額。這叫國產(chǎn)的MOCVD如何進行競爭？！

　　國產(chǎn)MOCVD面臨上述的困境，政府還沒有明確的解救措施和方案。地方政府補貼也好，關(guān)稅政策也好，某種意義上阻擋了MOCVD國產(chǎn)化。國外公司正是借助于這些政策在中國實施“傾銷”，從而繼續(xù)占領(lǐng)中國市場。我們呼吁中央和各地相關(guān)政府部門采取行動，幫助解決這些問題，避免MOCVD的國產(chǎn)化被扼殺在搖籃之中。只有MOCVD實現(xiàn)了國產(chǎn)化，中國的LED照明產(chǎn)業(yè)才會有根基，才會在國際上真正有話語權(quán)。其他光電產(chǎn)業(yè)及電力電子、通訊、電動汽車等行業(yè)也會從中大大受益。