記者獲悉，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導體”）已于11日向上海監管局提交IPO輔導備案，公司擬向上交所申報，輔導機構為海通證券、長江證券。

輔導備案情況報告公示，中微半導體成立于2004年5月，法定代表人尹志堯。截至申請提交日，公司無實際控制人，持股5%以上股東包括上海創投、巽鑫投資、南昌智微、置都投資、中微亞洲。

中微半導體主要從事半導體設備的制造、銷售業務，公司在等離子刻蝕機、MOCVD（金屬有機化合物化學氣相沉淀）等方面打破了國外的壟斷，并進入到5nm工藝設備研發。

中微半導體由尹志堯與杜志游、倪圖強、麥仕義等40多位半導體設備專家創辦，主要深耕集成刻蝕機領域，曾研制出中國大陸第一臺電介質刻蝕機，目前也是我國最領先的半導體設備生產制造商。

2018年12月，中微半導體自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優良，將用于全球首條5納米制程生產線。

5納米相當于頭發絲直徑的二萬分之一，是集成電路制程工藝最小線寬。臺積電宣布2019年將進行5納米制程試產、預計2020年量產。

刻蝕機是芯片制造的關鍵設備之一，曾一度是發達國家的出口管制產品。

中微半導體聯合創始人倪圖強表示，中微與泛林、應用材料、東京電子、日立4家美日企業，組成了國際第一梯隊，為7納米芯片生產線供應刻蝕機，如今通過臺積電驗證的5納米刻蝕機，預計能獲得比7納米更大的市場份額。

中微半導體的介質刻蝕設備、硅通孔刻蝕設備、MOCVD設備等均已成功進入國內外重要客戶供應體系。截至2017年底，已有620多個中微半導體生產的刻蝕反應臺運行在海內外39條先進生產線上。

根據國際半導體產業協會數據，預計2019年中國大陸將成為全球最大半導體設備市場，包括中微半導體、北方華創在內的國產設備廠商有望進一步提高設備滲透率。