據傳感器專家網獲悉，12月28日，位于廣州的增芯科技MEMS量產線項目舉行首臺生產設備搬入儀式，本次搬入設備是由中微半導體設備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE刻蝕設備反應臺。

增芯12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產線新建項目，一期總投資70億元，項目建成后將具備年產24萬片12英寸晶圓的生產能力，產品主要應用于汽車電子、物聯網、類工業、消費電子等領域，是相關領域產品性能表現的決定因素之一。

以下為新聞原稿：

2023年12月28日上午，廣州增芯科技有限公司舉行首臺生產設備搬入儀式，公司董事長陳曉飛出席活動并致辭，總經理張亮、首席運營官蕭國坤，全體二級以上主管及研發、運營、廠務員工代表以及增城區政府部門領導、區產投集團、寧西街道、項目參建單位、設備供應商代表，共同現場見證增芯科技這又一里程碑式的重要時刻。

本次搬入設備是由中微半導體設備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE刻蝕設備反應臺，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產線項目搬入的首臺生產設備，運用了中微具有自主知識產權的創新技術，是國際主流芯片生產線上必不可少的設備。該設備的搬入，是繼項目“920封頂”以來的重要交付，標志著增芯項目一期工程土建和機電安裝已經完工，項目由建設期正式轉入運營前的生產準備階段。

陳曉飛董事長首先對蒞臨現場的領導和來賓表示熱烈歡迎，他代表增芯感謝政府各部門對于增芯項目建設的大力支持，感謝產投集團、各參建方以及設備供應商提供的優質服務和保障，感謝增芯全體員工的真心付出。

增城區科工商信局羅明局長、公司首席運營官蕭國坤先生、中微半導體設備（上海）有限公司副總裁張凱先生分別代表行業主管部門、公司管理層和設備供應商（戰略合作伙伴）致辭，對首臺生產設備順利搬入表示熱烈祝賀。

隨后，張亮總經理向中建四局、世源設計院、中電四公司頒發“項目優秀承包商獎”，感謝各單位對于項目建設的大力支持和精誠努力。

最后，增芯副總裁、生產運營中心主管徐立介紹了本次搬入刻蝕設備的性能特點，邀請嘉賓上臺共同為運載設備的車輛揭幕。紅布飛揚，禮花奏響，現場掌聲連綿不絕。

增城區科工商信局、開發區企業服務局、科技創新局、投資促進局、園區發展局、區產投及寧西街相關負責人親臨現場，共同見證這一激動人心的時刻。

本次活動的圓滿成功，標志著增芯正式邁入新起點、新征程。參加活動的增芯員工紛紛表示，將繼續發揮敢想敢干的精神，保持創“芯”激情，向社會各界展示增芯人求真務實的精神風貌，再接再厲，全力以赴，為早日實現量產持續貢獻增芯力量。

審核編輯 黃宇