珠海首條自主6英寸MEMS產線投產

深耕壓電MEMS工藝及關鍵技術

1月15日，云際芯光（珠海）微電子有限公司（簡稱：云際芯光）首條自主建設的6英寸MEMS芯片生產基地通線儀式在珠海市金灣區盛大舉行。云際芯光董事長、珠海湖南商會會長、金灣區副區長和珠海市工業和信息化局副局長等出席活動并致辭。

云際芯光6英寸MEMS芯片生產線項目，位于珠海市金灣區，從投建啟動到貫通僅用時約一年，實現了在珠海特色工藝半導體制造領域的關鍵突破。

活動現場，通過企業宣傳片，帶領嘉賓了解了云際芯光從技術攻關到產線落成的發展歷程，詮釋了“以科技創新賦能產業升級”的堅定信念與產業抱負。

活動伊始，云際芯光董事長王慶初表示，項目團隊在一年內高效完成了從規劃藍圖到工藝調試的全過程，創下“建設周期最短、通線速度最快”的行業新紀錄。該生產線實現了壓電MEMS芯片領域從設計、工藝到規模生產的全鏈條自主可控，有效填補了珠海特色工藝半導體制造領域的空白，并為珠海集成電路產業注入了堅實力量。

此次通線標志著公司已構建設計、工藝到制造的全鏈條閉環，顯著提升市場響應與產品交付能力，為未來快速發展奠定制造基礎。王慶初指出，公司將持續加大研發投入，聚焦“傳感+通信+頻率”三大方向，拓展產品矩陣，推動MEMS芯片在更多新興領域的創新應用。

其次，珠海湖南商會會長郭俊德表示，此次產線順利通線，標志著企業邁入全新發展階段。期待云際芯光以此為契機，持續深耕MEMS領域，充分發揮技術及產能優勢，不斷推出具備競爭力的產品與解決方案，實現更廣闊發展格局。

珠海市金灣區副區長敖煒致辭表示，金灣區堅持“工業立區、智造強區”，將集成電路作為“5+2+N”現代產業體系的核心賽道。云際芯光產線的建成，為金灣完善集成電路產業鏈、推動上下游企業集聚提供了關鍵支撐。希望云際芯光以此為契機，扎根金灣、深耕創新，與區域協同發展，共同打造具有競爭力的半導體產業高地，為新質生產力發展注入強勁動能。

隨后，珠海市工業和信息化局副局長施洋表示，云際芯光自2023年扎根珠海，專注壓電MEMS芯片領域，攜手天津大學高校構建了研發設計到規模制造的全鏈條技術體系。其四大產品矩陣，技術指標已對標國際一流。期待云際芯光以產線通線為新起點，加大科研投入，加快產品創新，深化產學研合作，拓展MEMS技術應用，打造更多具有全球競爭力的硬核產品。讓我們政企同心，攜手將珠海建設成為國內領先的特色工藝半導體產業化高地，為制造強國貢獻珠海力量。

繼而，天津大學副教授、博士生導師、云際芯光技術專家崔魏巍為大家進行產品推介，展現了產線核心技術矩陣與產品藍圖。他介紹，SMR濾波芯片：應用于5G/6G、衛星通信等領域，已推出50余款產品，頻率覆蓋1GHz-8.5GHz。PMEMS聲學傳感器：基于自主研發的IPP芯片架構，性能媲美傳統陶瓷傳感器，且體積更小、可靠性更高，適用于水聽、測距、流量檢測等場景。高基頻石英晶振：采用自主QMEMS工藝，頻率可達70-300MHz，其中156.25MHz產品已實現對國際主流型號的國產替代。高精度壓力傳感器：目標精度0.01%FS，適用于工業監測、高端裝備等領域。

同時，公司擁有完整的自主知識產權，目前已申報專利30余項，并建成涵蓋設計、工藝、封裝測試的全流程研發體系。產線具備光刻、薄膜、刻蝕、鍵合等全流程工藝能力，可實現SMR濾波器、石英晶振等產品的規模化生產。

值此盛典，云際芯光與多家行業領先客戶達成戰略合作，這既是對云際芯光技術實力、產品質量和產能潛力的高度認可，也為產線通線后的快速爬坡與高效運行注入了強勁市場動力。

未來，云際芯光將繼續深化壓電MEMS技術研發，推動更多國產芯片走向市場，為中國半導體產業的自主化與高端化注入“芯”動力。