晶圓代工龍頭廠臺積電隨著先進制程大量產出，貢獻營收超過一半，3納米也開始量產，去年能源消耗也隨之增多，根據臺積電最新的永續報告書顯示，臺積電去年能源總消耗量為224億度，較前年的192億度增加16.66%，達歷年新高，其中，電力占達188.9億度、年增15%，再創新高，并達能源總消耗量的84.3%，再生能源電力約占21.9億度、僅9.7%。

臺積電去年營收達2.26兆元，年增42.6%，稅后盈余達1.01兆元，年增70.4%，每股大賺39.2元，營收與獲利創歷史新高，能源消耗也跟著增多。臺積電7納米制程貢獻去年營收比重27%，5納米制程比重也達26%，7納米、5納米先進制程貢獻營收比重達53%，3納米也開始量產，預計今年將開始貢獻營收。

先進制程采用極紫外光（EUV）的耗電量較高，臺積電在新出爐的的永續報告書指出，因應半導體技術快速演進，能源消耗也隨之增加，去年臺積公司能源總消耗量為224 億度，其中，外購電力約94%、天然氣5.8%、柴油0.2%。能源消耗數據范圍涵蓋臺灣廠區、中國松江廠與南京廠、、美國WaferTech、子公司封測廠采鈺。

臺積電指出，公司致力優化制程能源使用效率，為創造更多節能機會點、朝機臺節能最大化的永續目標邁進，由節能減碳委員會依制程技術定義五大節能團隊，除全面推動生產機臺與廠務設備各項節能措施外，也積極鼓勵員工投入綠色創新，透過年度節能模范獎與創新獎激發員工提出優良提案并付諸實現。去年總計節能7億度，且5納米制程技術于量產第3年成功提升生產能效至60%，超越年度目標。

臺積電去年再生能源電力約為21.9億度、僅占能源消耗量的9.7%，再生能源總量包含太陽光電、風力、地熱、水力。臺積電董事長劉德音先前在公司股東會中表示，臺積電在排碳還要努力，因臺灣綠電不足，綠電約占臺灣用電僅10%，臺灣發展比歐美慢，臺積電買太多會被誤以為全買走，但買太少則又無法達到ESG目標。

臺積用電量恐占全臺12% ，遭點名吃電怪獸

預計到2025年，臺積電的用電量，會占全臺灣能源的12.5%。不過其實，可能也沒辦法，畢竟發展半導體產業，本來就很吃電。尤其發展先進制程的關鍵設備「EUV極紫外光」，更是高耗電的主因之一。

ASML EUV工廠總工程師Mike Labelle：你可以看到EUV(極紫外光)機臺，就在我的后方。一窺荷蘭半導體制造設備商艾司摩爾廠房，就是這一臺「EUV***」，主宰全球半導體「先進制程」成敗，臺積電靠著它生產高良率晶片，打趴業界獨占鰲頭，但代價是超高用電量。

ASML EUV工廠總工程師Mike Labelle：「它可以讓我們有能力制造較小的晶圓，這代表晶圓能更快、更小，功耗可以更低。」EUV靠高能量壓縮波長，制造高階芯片，意味著也得花費大量電力，而臺積電光是EUV機臺就擁有超過80臺，電力當然用的兇，而且逐年成長，預計到2025年，用電量將占全臺整體能源的12.5%，遠高于2020年的6%，遭外媒評論是吃電怪獸。

對此，臺積電聲明，臺積電致力優化制程能源使用效率，每用的1度電，能為全球省4度電。地球公民基金會專員鄧宇佑：「(臺積電)指的所謂省4度電，最主要是說他們所制造的產品，能夠產生的能源效率改善。但環保團體真正擔心的還是臺積電用的所謂的1度，它的耗電量是具體成長跟上升的。」

盡管臺積電砸大錢買綠電，也致力生產低耗能、高效率產品，但高耗電也是事實，而且對電力有高度需求的，也不只臺積電，記憶體大廠美光還有南亞科，也都預備導入EUV機臺，增加競爭力。既然「高耗電」免不了，在有限電力下，專家提出解方。

臺灣經濟發展研究中心研究員梁啟源：「要處理(缺電)的話，就是既有電廠要延役，包括核電、包括煤電。」畢竟半導體產業，占臺灣出口總值35%，發展「先進制程」又是臺灣的致勝關鍵，不只電能供給不能斷，還得兼顧環保，政府、企業發展干凈又穩定的能源，得和時間賽跑。