以白光干涉技術為原理的SuperViewW1白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

粗糙度分析操作步驟：

1.將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；

2.將夾具放置在載物臺上；

3.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

4.使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5.完成掃描設置和命名等操作；

6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7.進入數據處理界面，點擊“去除外形”，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8.進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型；

9.如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；

10.進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取；

11.進入分析工具界面，點擊“參數分析”圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。