MEMS在航空航天領域最常見的應用是各種MEMS傳感器，它們具有不同的特點，適應在不同的場合。MEMS 技術首先應用在航天技術領域，是由于航天技術對器件功能密度比的要求非常高，也可以說MEMS技術的主要需求牽引來自于航天領域。

MEMS技術在航天領域應用優勢：

小的質量和體積，低發射質量。

低功耗——大部分器件處于電靜態。

小的熱常數——可用較低功率來維持溫度。

抗震動、抗沖擊和抗輻射機械裝置——如開關可以抗輻射加固，低慣性質量使MEMS可抗震動/沖擊。

高集成度——在一個芯片上集成了多種功能，大大簡化了系統的結構。

批量制造低成本——大批量生產。

MEMS技術在航空航天領域中的各種應用其實大部分都是以傳感器的形位為其服務。在這里我們從傳感器的角度來分析MEMS技術的應用。

MEMS傳感器主要有五種用途：

① 供有關航天器的工作信息，起故障診斷的作用;

② 判斷各分系統間工作的協調性，驗證設計方案;

③ 提供全系統自檢所需信息，給指揮員決策提供依據;

④ 提供各分系統、整機內部檢測參數，驗證設計的正確性。

⑤ 監測飛行器內外部的環境，為飛行員航天員提供所需的生存條件，保障正常飛行參數。

無人飛行器姿態控制

MEMS微慣性導航系統集微陀螺、微加速度計及其信號處理單元為一體。該系統以硅材料為主，用MEMS加工工藝制造而成，其體積和質量比常規慣性導航系統至少下降2一3個數量級。采用MEMS技術制造的微型慣性測量單元（MIMU），沒有轉動的部件，在壽命、可靠性、成本、體積和質量等方面都要大大優于常規的慣性儀表。所生產出來的標準化的、高性能航天器姿態測量儀器性能更好，價格更便宜，而且在航空航天平臺均能使用。采用MIMU器件可使裝置的重量大大減輕。

直升機飛行狀態監控

MEMS加速度傳感器加速度傳感器在航空航天應用在姿態航向基準系統、飛行控制系統，包括顫振測試在內的飛行期間結構測試、健康系統測試、穩定性測試、地面振動測試（風洞試驗）、模態測試、發動機控制系統和制導系統等。

光電吊艙穩定平臺

MEMS微陀螺在無人機光電吊艙、紅外穩定平臺、位標器中的應用極為廣泛。隨著MEMS工藝技術的提升，高精度硅MEMS微陀螺逐漸在替代低精度光纖和石英陀螺儀。

飛行試驗和發動機檢測試驗

MEMS壓力傳感器在飛行中、飛行試驗、發動機檢測試驗、結構強度試驗、風洞試驗，以及在設備的制造生產過程中應用十分普遍。壓力測量的特點是：被測壓力種類多、涉及范圍廣、測壓點多，要求測量精度高。

通信天線車和火箭炮支架

MEMS傾角傳感器廣泛應用于火箭炮固定轉動支架角度測量，通訊天線車和飛艇等等。應用范圍廣，要求測量精度高，誤差小，可靠性高。美泰電子自主研發的MTS2000和MTS2001測量精度達到0.001°，內置溫度傳感器，體積小適用多種場合，并具有良好的振動和沖擊特性，已批量應用于雷達天線角對準，火炮炮管初設角度測量，衛星通信車姿態檢測盒天線角度測量。

航天航空集當代先進制造技術、信息技術和材料技術于一身對傳感器的要求越來越高。MEMS傳感器發展方向是多功能化、小型化、智能化、集成化，隨著產品可靠性進一步提高和價格降低，制作技術發展的不斷成熟和完善，MEMS傳感器在航空航天領域的應用將會在更廣泛范圍取代傳統傳感器。
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