今天為大家介紹一項國家發明授權專利——熱式空氣流量計。該專利由日立汽車系統株式會社申請，并于2018年11月16日獲得授權公告。

內容說明

本發明涉及具備用樹脂覆蓋具備流量檢測部的傳感器芯片與處理由流量檢測部檢測的信號的LSI而構成的傳感器部件的熱式空氣流量計。

發明背景

測量氣體流量的熱式空氣流量計具備用于測量流量的流量檢測部，通過在上述流量檢測部與作為測量對象的氣體之間進行熱傳遞，測量氣體的流量。熱式空氣流量計測量的流量在各種各樣的裝置中作為重要的控制參數而廣泛地被使用。熱式空氣流量計的特征為能夠以相比較于其他方式的流量計相對高的精度測量氣體流量、如質量流量。

可是，期望更進一步提高氣體流量測量精度。例如，在搭載內燃機構的車輛中，節省燃油費的期望與尾氣凈化的期望非常高。對應這些期望，謀求以高精度測量作為內燃機構主要參數的吸入空氣量。測量被導入內燃機構的吸入空氣的熱式空氣流量計具備取入吸入空氣量的一部分的副通路與配置于上述副通路的流量檢測部，通過上述流量檢測部在與被測量氣體之間進行熱傳遞，測量流經上述副通路的被測量氣體的狀態，輸出表示向上述內燃機構導入的吸入空氣量的電力信號。這樣的技術例如公開于日本特開2011-252796號公報（專利文獻1）中。

在專利文獻1中的空氣流量測量裝置中，具備形成取入的空氣流經的內部流路的箱體、配置于副流路內的傳感器芯片、處理傳感器芯片產生的電力信號的電路芯片，傳感器芯片與電路芯片作為成為一個結構部件的傳感器部件而組裝（段落0027、0031）。箱體具備嵌入傳感器部件的孔，在形成孔的面上設置分別面接觸于設置于傳感器部件上的兩個抵接面的兩個抵接面（段落0033）。在形成孔的面上，在除了兩個抵接面的面部上設置肋，傳感器部件通過以壓接于肋的頂端的方式壓入孔中，固定于箱體中（段落0034）。由此，在傳感器部件與箱體之間遮斷線膨脹的傳遞，以線膨脹差引起的應力不作用在傳感器芯片、電路芯片的方式，抑制傳感器芯片、電路芯片的元件的阻值的變動（摘要）。

發明內容

發明所要解決的課題為了通過熱式空氣流量計以高精度測量空氣的流量，謀求在設置于用于測量流經主通路的空氣流量的熱式空氣流量計上的副通路上，以高精度定位流量檢測部并固定，準確地測量由流量檢測部檢測的流量。

在記載于專利文獻1中的技術中，預先用樹脂制作具備開有用于嵌入傳感器部件的孔的內部流路的箱體，與該箱體不同地制造具備流量檢測部傳感器部件，其次以向內部流路的孔插入傳感器部件的狀態，將傳感器部件固定于箱體中。在向內部流路開口的孔與傳感器芯片之間的間隙、以及傳感器部件向箱體中的嵌入部分的間隙中填充彈性粘接劑，以粘接劑的彈性力吸收相互的線膨脹系數差。

而且，為了減小傳感器部件與設置于箱體上的副通路之間的位置與角度的偏差，相對于副通路（內部流路）準確地定位傳感器部件（尤其是流量檢測部），與箱體的模制成型的同時固定含有流量檢測部的傳感器部件有效。

可是，在這種情況下，由于傳感器部件與箱體之間的線膨脹系數差，引起在LSI：Large Scale Integration（電路芯片）內抵抗中產生的熱應力相比較于使用粘接劑的情況高，測量精度降低的課題。

本發明的目的在于提供一種熱式空氣流量計，該熱式空氣流量計通過確保流量檢測部的高定位精度、并降低在LSI內的電阻產生的熱應力的影響，從而測量精度高。

用于解決課題的方法：為了實現上述目的，本發明的熱式空氣流量計具備將具備電阻的電路部與流量檢測部以上述流量檢測部的至少一部分露出的方式嵌入模制而構成的傳感器部件、具備副通路將上述流量檢測部配置于上述副通路內并收納上述傳感器部件的箱體，在上述傳感器部件用第一樹脂模制成形、上述箱體用第二樹脂模制成形的熱式空氣流量計中，上述傳感器部件具備用形成上述箱體的上述第二樹脂固定于上述箱體、相對于上述傳感器部件產生與上述流量檢測部露出的面平行的方向的拉伸應力的樹脂結構。

此時，在將電路部（LSI）的電阻配置面側作為表面的情況下，可以使形成于傳感器部件的背面側、覆蓋傳感器部件的箱體樹脂體積比形成于傳感器部件的表面側、覆蓋傳感器部件的箱體樹脂體積大。或者，在將LSI的電阻配置面側作為表面側的情況下，形成于LSI的表面側的傳感器部件樹脂的厚度t1與形成于LSI的背面側的傳感器部件樹脂的厚度t2的關系可以為t1

發明效果：根據本發明，在與箱體的模制成型同時固定傳感器部件的情況下，由于能降低對LSI的產生應力，所以能夠得到確保流量檢測部的高的定位精度、測量精度高的熱式空氣流量計。