射頻探針的歷史

在半導體測試領域，射頻探針是不可或缺的工具。自1980年代，Reed Gleason與Eric Strid在Tektronix工作時合作發明了第一臺高頻晶圓探針，并于1983年共同創辦Cascade Microtech公司，這一技術開始得以發展壯大。在此之前，測試MMIC器件幾乎沒有有效的方法，通常只能在鍵合或封裝后進行測試。早期的RF探針采用共面陶瓷材料制造，但陶瓷的彈性范圍有限，同時支持的射頻頻率也有限，第一代探針僅覆蓋到18 GHz。然而，如今我們可以選擇多種類型的探針，其覆蓋頻率輕松可達110 GHz以上。

射頻探針的類型

為了測量電路性能，需要將信號傳輸到某種傳輸線上，這要求至少兩個導體，即“信號導體”和“地導體”。因此，射頻探針可以分為三種基本類型：GS、SG、GSG。

除了這些基本類型，還存在各種組合，如GSGSG、GSSG、SGS等等。探針本身需要與內部不同傳輸媒介的特征阻抗匹配，以確保在不同的傳輸模式下高效傳輸電磁能量。

傳統的射頻探針通常包括以下幾個部分：

1、測試儀器接口（同軸或波導）

2、從測試接口到微同軸電纜的轉接

3、微同軸電纜到平面波導（CPW/MS等）的轉接

4、共面接口到DUT部分即針尖。

也有一些探針將第3和第4部分合并在一起，或者干脆沒有微同軸電纜。

一般而言，65 GHz以下的應用使用同軸頭，50 GHz到110 GHz之間的頻率可以選擇同軸或波導。對于覆蓋DC到110 GHz的寬帶測試系統，如果需要一次掃描測試，通常使用1mm的同軸接口，盡管價格較高。而110 GHz以上的探針通常采用波導形式。

三

其他相關概念

探針間距（Probe Pitch）：

指的是針尖之間的間距，一般在50-1000微米之間。對于毫米波頻率的應用，針尖間距通常較小。我司支持間距100-1250微米。

探針偏移（Probe Skate）：

當您在Z軸方向向下按壓探針時，當探針接觸到被測器件時，它會在ZY平面上發生彎曲移動。通常，這也是判斷是否成功扎上的一個現象。

去嵌算法（De-embedding）：

去嵌是一項在探針出現之前就存在的技術，曾廣泛用于標準分立夾具測試中。目前已有許多研究關于去嵌相關的算法。【迪賽康】教你怎么使用R&S的網分，去嵌探針測試影響

分享一篇測試校準相關的博士論文片段：

四

射頻探針廠商念

FormFactor公司于2016年收購了Cascade Microtech公司，成為行業的領先者之一，其產品覆蓋面非常廣泛。他們的微波毫米波探針產品系列包括ACP系列、Infinity系列和|Z| Probe系列。這些探針具有不同的特點和優勢，適用于不同的應用需求

Designcon：

迪賽康（Designcon）是一家專注于高頻高速測試領域的射頻探針品牌。成立于2016年，公司自成立以來一直致力于高頻、高速領域的探索和研發。

射頻探針類型多樣，包括GS、SG、GSG、GSSG以及差分可調間距探針，以滿足不同的應用場景。探針產品支持阻抗、S參數等多種高頻測試，并可進行定制探針。

以下為我司探針產品圖

此外，還有其他一些射頻探針制造商，較大的一些包括：

Keysight Technologies：提供各種類型的射頻和微波探針，以及相關測試儀器。

Rohde & Schwarz：提供廣泛的射頻和微波測試解決方案，包括探針和測量設備。

Anritsu：專注于通信和電子測試領域，提供各種射頻和微波探針以及測試解決方案。

MPI Corporation：全球領先的半導體測試解決方案供應商，提供多種射頻和微波探針用于半導體測試。

GGB Industries：專注于微波和射頻探針技術，提供高性能探針以滿足不同的測試需求。

SV Probe：專門提供半導體測試探針，包括射頻和微波應用。

總結：

國產探針具有更短的交貨周期，能夠更快地滿足您的需求。其次，國產產品在售后支持和維修方面更為便利，您可以輕松聯系本地供應商解決問題，減少停機時間。此外，國產探針價格更加適中，有著更具競爭力的價格，降低了測試設備的總成本。同時，本地技術支持和培訓服務可以提高測試效率，并確保設備性能穩定。此外，國產產品更容易根據國內市場需求進行定制和改進，以滿足客戶的具體需求。最后，選擇國產探針還可以避免受到國際貿易問題的影響，提供更穩定的供應鏈。

總之，選擇國產射頻探針是一個經濟實惠且明智的選擇，尤其是在考慮到交貨時間、價格、售后支持和定制需求等方面。

編輯：黃飛