什么是晶圓探針測試？

晶圓探針測試也叫中間測試，是半導體(集成電路)生產過程中的重要步驟，通過探針臺檢測晶圓上芯片的性能來判斷芯片是否符合設計要求，從而減少在封裝過程中不必要的成本，同時也指導著產品工藝設計的提升。

隨著半導體工藝的發展，晶圓尺寸的增大和集成度的提高，晶圓測試時間隨之增加，對晶圓探針測試技術和設備的要求也日益嚴格。

測試設備與測試流程

晶圓探針測試通常會用到以下設備：

探針測試臺：用于傳送晶圓，控制晶圓芯片的位置，確保每個芯片每個位置都可以測試到。

探針測試卡：探針測試卡上的探針用來接觸晶圓;與探針測試機連接通訊，輸送信號。

探針測試機：用來施加信號，進行測試。測試完成后，探針臺會收到信號，移動位置開始測下一個芯片位置。

NSAT-1000射頻組件測試系統：晶圓探針測試

晶圓探針測試程序復雜，測試耗時長，優化測試方式以及提高測試效率是半導體制造業面臨的重要挑戰之一。

NSAT-1000射頻測試系統在ATECLOUD測試平臺基礎上開發而成，具有強大的兼容性，可以靈活快速接入設備，自動識別儀器，探針臺就是其中之一。平臺會封裝探針臺的儀器指令，對其進行兼容，以此實現對探針臺的程控。

晶圓芯片S參數自動化測試

在北京某公司與納米軟件合作的項目中，通過射頻自動化測試系統與探針臺和網絡分析儀的通訊來實現對晶圓芯片的S參數自動化測試。在與探針臺的通訊交互中：

1. 系統告知探針臺流程開始

2. 系統獲取探針臺狀態，判斷是否可以開始測試

3. 系統從探針臺獲取當前被測晶圓芯片的坐標

4. 系統向探針臺反饋當前產品測試結果

測試記錄詳細查看 報告模板多樣，內容豐富

不僅可以通過NSAT-1000自動化測試系統完成晶圓芯片S參數測試，而且還可以借助此系統對被測產品進行數據分析、生成測試報告，為用戶提供一站式自動化測試服務。更多關于NSAT-1000程控探針臺測試晶圓芯片的信息，可訪問天宇微納（納米軟件）網站案例了解。

審核編輯 黃宇