7月16日下午，賽微電子通過官方微信宣布，公司“BAW濾波器實現(xiàn)量產(chǎn)”。

同一時間，賽微電子也發(fā)布公告宣布，近日，旗下控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡稱“賽萊克斯北京”或“北京 FAB3”）以 MEMS （微機(jī)電系統(tǒng)）工藝為某客戶制造的系列 BAW（Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲 波）濾波器完成了小批量試生產(chǎn)階段。2023 年7月15日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署《長期采購協(xié)議》， 賽萊克斯北京開始進(jìn)行 BAW 濾波器的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

賽微電子表示，“盡管已在多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn) MEMS 制造技術(shù)的積累和突破，但公司北京 FAB3 在整體上仍處于運(yùn)營初期，產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個持續(xù)的過程，產(chǎn)能擴(kuò)充及 產(chǎn)量目標(biāo)的實現(xiàn)尚需一定時間。”

過去的十年間，通信行業(yè)經(jīng)歷了從2G到3G，再從3G到4G的兩次重大產(chǎn)業(yè)升級，雙4G/全網(wǎng)通、五模/七模、十三頻/十七頻/三十頻、載波聚合、MIMO逐漸成為智能手機(jī)標(biāo)配，這也導(dǎo)致對于包括射頻開關(guān)、射頻低噪聲放大器、射頻功率放大器、雙工器、射頻濾波器在內(nèi)的射頻前端器件的要求越來越高，同時所需的數(shù)量和價值也在急劇增加。

據(jù)芯智訊2021年時了解到的信息顯示，2G時代，手機(jī)頻段數(shù)是4個，總價值約0.8美元；3G時代，手機(jī)頻段數(shù)上升到6個，總價值約3.25美元；然而到了4G時代，千元機(jī)頻段數(shù)就達(dá)到了8-20個，總價值也提高到了8-10美元；旗艦機(jī)頻段數(shù)在17-30，需要20-40個濾波器，10個開關(guān)，總價值達(dá)到了16-20美元；而到了5G 手機(jī)，頻段數(shù)將達(dá)到50多個，需要約80多個濾波器和約15個開關(guān)，總價值達(dá)25-40美元。

從整個射頻前端市場的供應(yīng)商格局變化來看，隨著通信技術(shù)的持續(xù)迭代，需要的資金和技術(shù)投入越來越大，市場競爭也進(jìn)一步加劇，射頻前端市場的玩家也在不斷的并購當(dāng)中越來越少，市場也越來越集中。目前在整個射頻前端市場，Skywork、Qorvo、Broadcomm（Avago）和muRata四家國外廠商占據(jù)著全球約85%的市場份額，國產(chǎn)射頻前端廠商市場份額較低。

根據(jù)Yelo數(shù)據(jù)顯示，在移動市場，現(xiàn)在全球93%的PA供應(yīng)集中在 Skyworks、Qorvo 和 Broadcomm（Avago）等頭部幾家廠商手中。濾波器也被Murata、TDK、TAIYO YUDEN、Broadcomm（Avago）和Qorvo等廠商瓜分，其中Murata、TDK和TAIYO YUDEN瓜分了82%的SAW濾波器（聲表面波濾波器）市場，而Broadcomm（Avago）和Qorvo則占據(jù)了95%的BAW濾波器（帶諧振腔體聲波濾波器，包括BAWSMR和FBAR）市場。

其中，SAW 工藝更加類似傳統(tǒng)集成電路，而BAW 工藝則需要MEMS 聲學(xué)結(jié)構(gòu)以及壓電材料的長期積累，所需工藝制造步驟數(shù)倍于SAW，技術(shù)難度較高且單價更高。這也導(dǎo)致了國產(chǎn)廠商在BAW領(lǐng)域與國外領(lǐng)先廠商之間存在較大差距。國內(nèi)此前也僅有諾思、開元通信、漢天下等少數(shù)廠商有一些產(chǎn)品推出。

在此背景之下，賽微電子全資子公司北京賽萊克斯國際科技有限公司與國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司共同投資的8英寸MEMS國際代工線項目公司“賽萊克斯北京”開始發(fā)力BAW濾波器器件的制造。

2022年6月12日，賽萊克斯北京“8英寸MEMS國際代工線”（北京FAB3）代工制造的某款BAW（Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲波濾波器，包括BAWSMR-固體安裝諧振器和FBAR-薄膜體聲波諧振器）通過了客戶驗證。

當(dāng)時賽微電子就表示，經(jīng)過對該批次BAW濾波器進(jìn)行頻段抑制、帶內(nèi)插損、電壓駐波比等性能測試及高加速溫濕度應(yīng)力、高低溫貯存壽命、機(jī)械及跌落沖擊等可靠性驗證，產(chǎn)自北京FAB3濾波器的性能、良率均達(dá)到或優(yōu)于設(shè)計指標(biāo)要求，與國際射頻巨頭廠商的同類別產(chǎn)品指標(biāo)相當(dāng)。該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，北京FAB3啟動首批BAW濾波器8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。

隨后在2022年12月30日，賽微電子又宣布，其旗下控股子公司賽萊克斯北京與武漢敏聲新技術(shù)有限公司（以下簡稱“武漢敏聲”）合作共建的8英寸BAW濾波器聯(lián)合產(chǎn)線達(dá)到各項要求和標(biāo)準(zhǔn)，實現(xiàn)通線，具備進(jìn)行下一步產(chǎn)能爬坡、良率提升及大規(guī)模量產(chǎn)的基礎(chǔ)。

據(jù)當(dāng)時的官方介紹，“敏聲-賽萊克斯北京8英寸BAW濾波器聯(lián)合產(chǎn)線是國內(nèi)屈指可數(shù)的BAW濾波器大規(guī)模量產(chǎn)線之一。產(chǎn)線的通線，標(biāo)志著武漢敏聲正式踏入具備濾波器設(shè)計、制造、銷售全流程實力的CIDM/IDM廠商行列，可進(jìn)一步發(fā)揮敏聲核心專家團(tuán)隊平均十年以上的工藝制程經(jīng)驗優(yōu)勢，通過對核心工藝的自主掌控，未來敏聲有望在產(chǎn)品性能、產(chǎn)品迭代速度、產(chǎn)品成本控制等方面占據(jù)競爭優(yōu)勢，真正解決國產(chǎn)高端濾波器卡脖子問題。”

武漢敏聲首席技術(shù)官孫博文博士表示，“敏聲BAW濾波器的產(chǎn)品性能已達(dá)到國際先進(jìn)水平，在插損、滾降、遠(yuǎn)端抑制等具體性能指標(biāo)上優(yōu)于目前國外同類產(chǎn)品。”敏聲的濾波器產(chǎn)品，無論在IP設(shè)計還是工藝路線上均有獨立自主的知識產(chǎn)權(quán)，公司已經(jīng)申請了200余項發(fā)明專利，授權(quán)了近70項發(fā)明專利。

編輯：黃飛