電子發燒友網報道（文/黃山明）近日，國內專注BAW濾波器的企業諾思（天津）微系統有限公司（以下簡稱諾思）突然公開放出一則消息，宣布已與美國安華高（博通）達成全面和解。這輪歷時九年的糾紛，終是落下了帷幕。與此同時，國內BAW市場發展的腳步并未停歇，伴隨著諾思與博通的和解，為國產BAW的發展加上了一個助推器。

打破國內BAW濾波器空白，但被壓制了9年

BAW（Bulk Acoustic Wave，體聲波）濾波器，是射頻前端模塊中的關鍵組件之一。并且因為BAW尤其適用于2.5GHz以上的高頻應用，因此它們在5G通信中尤為重要，因為5G技術使用的頻段遠高于傳統4G網絡。

因此隨著5G商用及物聯網應用的爆炸性增長，BAW濾波器的需求顯著增加。射頻前端模組化已經成為產業趨勢，預計到2025年，射頻前端模組市場將達到177億美元，約占射頻前端市場總容量的69%。

技術上BAW濾波器在溫度敏感性、插入損耗特性以及頻段和寬帶表現方面具有獨特優勢。這些特性使其在中高頻段通訊中表現尤為出色，符合5G等高頻通信的需求。

作為射頻前端中最重要的分立器件，濾波器的作用是為了使信號中特定頻率成分通過，將其余頻段的信號濾除，從而提高信號的抗干擾性及信噪比，除了射頻前端，也被廣泛應用于通訊基站、回傳鏈路、衛星通信、航空航天、有線寬帶等各個通信相關的領域。有機構測算，BAW濾波器的成本大約是SAW濾波器的2-10倍。

但高端射頻濾波器芯片長期被國外壟斷，尤其在BAW上，國外的IDM大廠和專業設計公司憑借其技術積累和專利布局，形成了較高的行業壁壘。如博通、Skyworks、Qorvo、NXP、TDK、TI、英飛凌等海外企業，其中博通一家獨大占據了87%的市場份額，而Qorvo則以8%的份額位列第二。

好消息是，盡管在射頻芯片領域國內起步較慢，但并不意味著國內的技術遠遠落后。比如2011年成立的諾思，成為了中國首家FBAR（射頻前端薄膜體聲波濾波芯片）生產企業，也是國內少數的專注FBAR濾波器的擁有IDM模式的廠商，建有亞洲首座具有完全IP的FBAR晶圓廠。成功打破了歐美國家的技術壟斷，并填補了國內在FBAR上的空白。

巧合的是，諾思微系統創始人張浩在2015年前往美國參加學術會議時，在洛杉磯國際機場被美國以“經濟間諜罪”的名義逮捕，博通指控張浩和另一創始人龐慰涉嫌竊取公司濾波芯片的相關資料，并以此為基礎在中國成立了諾思微系統。

自此，長達九年的訴訟便開始了。好在諾思并未因訴訟而停止研發，其后還推出了多款5G產品，包括全球首款小尺寸5G n41 BAW濾波器、全球首款高功率容量BAW濾波器以及應用于5G射頻前端的超小型聲波濾波器產品系列USH BAW。

直到近期，諾思公開宣布，公司已與博通達成全面和解，更重要的是，雙方就某些中國專利達成交叉許可。就同一天諾思上架了一款北斗商用最尖端的FBAR濾波器，并從經銷商的消息來看，2022年四季度，月產能已經可以達到80KK，足以證明國產BAW濾波器并未停下發展的腳步。

小步快跑的國產BAW濾波器

BAW濾波器因其在中高頻段的出色性能，如低插入損耗和高帶外抑制能力，在5G通信、物聯網（IoT）、汽車智能化等領域的需求日益增加。而近幾年中美貿易形勢的惡化，讓國產替代的浪潮愈演愈烈。

除了諾思，當前國內已經有不少機構和企業在濾波器有所積累。比如在2022年，武漢敏聲與賽微電子合作共建的8英寸BAW濾波器聯合產線已宣布實現全面通線，具備了進行下一步產能爬坡、良率提升及大規模量產的基礎。

同時在2023年，賽微電子官宣，其首款基于MEMS技術的國產BAW濾波器實現量產，并透露該BAW濾波器產線初期產能為2000片晶圓/月，后期將擴展到10000片晶圓/月水平。

賽微電子也在近期回復投資者提問時表示，公司所制造的BAW濾波器可以應用于在5G、5.5G、6G不同網絡世代背景下的基站、路由器、手機以及各種類別的無線連接終端，具體性能指標及應用領域取決于客戶需求。

而開元通信在2019年推出的“矽力豹”品牌系列5G n41頻段的高性能BAW濾波器產品，是國內芯片廠商在5G BAW濾波器的首次突破，也是當時國內唯一量產的8英寸BAW產品。

麥捷科技也在近期與互動平臺上回復投資者表示，公司的BAW濾波器在設計方案后仍需進行流片測試，每輪流片大致用時3-4個月。此外，還有如蘇州漢天下、華芯等企業也擁有對BAW濾波器的技術積累。

如漢天下的BAW濾波器出貨量已經達到1億顆，并在射頻模組化方面持續發力。武漢敏聲則在高鈧摻雜氮化鋁（ScAlN）全流程工藝上取得突破，成功研發出適用于5G頻段的BAW濾波器。

據Yole預測，隨著5G商用及物聯網應用的爆炸性增長，BAW濾波器的需求顯著增加。射頻前端模組化已經成為產業趨勢，預計到2025年，射頻前端模組市場將達到177億美元，約占射頻前端市場總容量的69%。

當然，由于國內企業起步較晚，如博通和Qorvo等國外企業，長期占據市場主導地位，擁有大量專利和技術積累。這些公司的專利布局廣泛且深入，形成了較高的技術壁壘。好消息是近年來一些國內的企業開始打破了一些技術和生產上的瓶頸，如武漢敏生一具備完整的自主知識產權，已經注冊白宇翔專利，建立了多維度多層次的專利壁壘。

而諾思更是擁有300多項技術專利，覆蓋設計、材料、結構、工藝、封裝、測試等各個領域，在射頻前端領域實現了技術領先優勢。比如諾思近期在慕尼黑上海電子展出的多款高性能ICBAR濾波芯片，包括超小尺寸、高功率、高頻大帶寬（Kt2＞21%）等全新解決方案。

此外，國內另一家掌握5G中高頻BAW芯片制備及關鍵裝備核心技術的企業艾佛光通，更是成為國內唯一、全球第三家具有獨立知識產權的5G通信核心元器件體聲波濾波芯片生產能力的企業。

該企業在廣州、河源兩地建成了國內首條8英寸BAW濾波芯片IDM產線，產品關鍵性能較美日等競品提高20%，并獲多家國內外知名移動終端廠商、手機代工廠以及5G基站供應商的大規模采購使用。


值得注意的是，艾佛光通的核心產品“SABAR?”（單晶AlN高頻BAW濾波器），完全有別于FBAR濾波器技術路線，各項技術指標已達到國際領先水平，備受國內外知名通訊終端企業青睞。有消息顯示，該條產品的芯片生產線已實現穩定量產，年產值達15億元。

寫在最后

作為掌握全球大多市場份額的博通，在近期與諾思和解，并提到雙方就某些中國專利達成交叉許可。至少可以認為，中國企業在BAW技術上，已經得到了國外領先企業的認可。

而如艾佛光通另辟蹊徑的SABAR?，也讓國內的BAW技術有了新的方向。可以肯定的是，國產BAW濾波器的發展已經勢不可擋。