該EPS200MMW探針系統滿足67 GHz以上高級應用的測量需求，特別是在100 GHz及以上。類似于EPS150MMW平臺，EPS200MMW采用成熟的設計方法設計，可實現同類產品中最高的測量精度。

EPS200MMW與EPS150MMW的所有當前SIGMA?集成套件兼容，可實現各種mmW應用集成。特別是在100 GHz以上的頻率下，校準基板和DUT上的亞微米精度的探針放置對于準確和可重復的測量結果至關重要。 EPS200MMW采用剛性鑄造底座，四點支撐的實心壓板和高度精制的花崗巖底板，滿足了這一需求。其創新的精細滑動卡盤平臺提供寬范圍粗動和亞微米級精細運動，結合剛性支撐，使EPS200MMW成為THz系列應用的最佳選擇。

EPS200MMW是一種專用探測解決方案，旨在提供開箱即用的功能，以在最短的時間內獲得準確的測量結果。 EPS200MMW提供的一些主要優點：

幫助每個人成為專家– EPS200MMW采用最著名的方法和設計，可實現最高THz的最高測量精度。

確保校準準確性– EPS200MMW包括WinCal XE?，業界領先的RF晶圓上校準軟件。

增加動態范圍和方向性– EPS200MMW使用模塊化SIGMA套件提供儀器與設備之間的最短信號路徑，始終確保最佳的儀器集成。

保護您未來的投資– EPS200MMW易于配置，可根據您的需求進行升級。

需要最少的培訓– 設計方便，易于使用。

EPS200MMW采用堅固的鑄造框架和帶四點支撐的壓板，具有出色的穩定性，可輕松實現μm精度。其拋光花崗巖底座消除了任何熱或機械影響，確保了出色的平面度和系統穩定性。集成的隔振解決方案和可選的隔振臺可在整個測量過程中保持高質量的接觸。

獨特的模塊化SIGMA集成套件可無縫集成來自領先測量儀器供應商的mmW磁頭和負載牽引調諧器，實現最高動態范圍和方向性，而不會影響電氣精度和機械穩定性。 SlimVue?顯微鏡可減輕小墊探測所需的高放大率光學元件的機械干擾。

定位器的無間隙XYZ運動，集成平面化和具有1μm可重復性的壓板升程，可實現精確的探頭放置和接觸可重復性，相當于半自動化系統。 WinCal XE軟件，經過驗證的標準和優化的校準邊界條件，使用LRRM或Multi Line TRL等高級校準，以及驗證測量結果的準確性，可實現高達THz范圍的卓越校準精度。

直觀的操作工作流程，創新的精細滑動卡盤平臺，提供寬范圍粗動和微米級精細運動，接觸規，探頭碰撞保護器，集成輔助卡盤和WinCal XE，確保新手操作簡便和專家用戶。

EPS200MMW系統專為可升級性而設計，可輕松進行重新配置，以滿足您未來的項目要求。

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審核編輯 黃昊宇