1.?一種晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：包括浸泡單元（1）、對中盒站單元（5）、去 膠單元（3）、清洗單元（4）、機器人（2）和工作臺（23）,機器人（2）設置于工作臺（23）中部, 所述浸泡單元（1）、對中盒站單元（5）、去膠單元（3）和清洗單元（4）均設置于所述工作臺 （23）上并環設于所述機器人⑵周圍，其中浸泡單元⑴和對中盒站單元⑸設置于機器 人（2）的前后兩側,機器人（2）的左右兩側均設有去膠單元（3）和清洗單元（4）,且設置于 機器人（2）同一側的去膠單元（3）和清洗單元（4）疊放設置，晶圓通過機器人（2）依次送 至各個單元中；

所述去膠單元（3）包括去膠腔體（6）、去膠臂（7）、去膠夾持托盤（9）、密封門（10）和去 膠臂移動機構，其中去膠夾持托盤（9）設置于所述去膠腔體（6）中，密封門（10）和去膠臂 移動機構分別設置于所述去膠腔體（6）的兩側，去膠臂（7）安裝在所述去膠臂移動機構上, 所述去膠臂（7）伸入至去膠腔體（6）內，所述去膠臂（7）上裝有高壓去膠藥液噴嘴和常壓 去膠藥液噴嘴，在所述去膠腔體（6）內設有金屬回收管路和去膠液回收管路，去膠腔體（6） 外側設有排風接口（8）。

2.?根據權利要求1所述的晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：所述去膠臂移動機構 包括升降氣缸（11）和擺動電缸（12）,其中升降氣缸（11）安裝在所述擺動電缸（12）上，去 膠臂（7）安裝在所述升降氣缸（11）上。

3.?根據權利要求1所述的晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：所述清洗單元（4）包 括清洗腔體（19）、清洗臂（13）、擺動電缸（14）、清洗夾持托盤（15）、清洗噴頭（16）、氮氣固 定臂（17）、去離子水固定臂（18）、排風接口⑻和密封門（10）,晶圓由所述密封門（10）送 入清洗腔體（19）中,所述清洗腔體（19）內設置有清洗夾持托盤（15）,在清洗腔體（19）遠 離密封門（10）的一側設有擺動電缸（14）,清洗臂（13）安裝在所述擺動電缸（14）上，所述 清洗臂（13）伸入至清洗腔體（19）中,在所述清洗臂（13）上設有異丙醇噴嘴、去離子水噴 嘴和氮氣噴嘴，在所述清洗腔體（19）內設有清洗噴頭（16）、氮氣固定臂（17）和去離子水固 定臂（18）,在清洗腔體（19）外側設有排風接口（8）。

4.?根據權利要求1或3所述的晶圓撕金去膠清洗裝置，其特征在于：所述密封門（10） 包括回轉氣缸（20）和密封門板（21）,所述密封門板（21）通過所述回轉氣缸（20）作用打 開，在所述密封門板（21）上設有密封墊（22）。

5.?根據權利要求1或3所述的晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：所述排風接口 （8） 底端設有一個可抽動的調風板（24）。

6.?根據權利要求1所述的晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：所述去膠單元（3）設 置在清洗單元（4）上側。

7.?根據權利要求1所述的晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：所述浸泡單元（1）內 設有2個浸泡槽。

8.?根據權利要求1所述的晶圓撕金去膠清洗裝置,其特征在于：所述金屬回收管路與 一個金屬回收桶相連；所述去膠液回收管路與一個去膠液回收桶相連。

一種晶圓撕金去膠清洗裝置

技術領域

[0001] 本發明涉及一種晶圓加工設備,具體地說是一種晶圓撕金去膠清洗裝置。

[0030] 本發明的工作原理為：

[0031] 本發明包括浸泡單元1、對中盒站單元5、去膠單元3、清洗單元4和機器人2,設備 工作時，晶圓先由對中盒站單元5中取出并送至浸泡單元1浸泡，，然后由機器人2的濕型 機械手送至去膠單元3中進行撕金去膠工藝，完成撕金去膠工藝制程后，從晶圓表面撕除 下來的金屬和去膠液均可以回收再利用，完成去膠工藝后，晶圓由機器人2傳送至清洗單 元4,完成清洗工藝制程后，再由機器人2的干型機械手傳送至對中盒站單元5。

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