通常情況下塵埃粒子是指以區分空氣潔凈程度等級為目的的，且粒徑限值在0.1微米至5.0微米范圍內的液體或固體。而粉塵（dust）是指懸浮在空氣中的固體微粒，習慣上對粉塵有許多名稱,如灰塵、塵埃、煙塵、礦塵、砂塵、粉末等,這些名詞沒有明顯的界限。國際標準化組織規定,粒徑小于75μm的固體懸浮物定義為粉塵。常見的污染顆粒還有病毒、細菌、微生物等，具體的種類與大小分布如下：

無塵室是應用于半導體、顯示面板等相關制造工藝的一種受控環境，它對環境中的溫濕度、潔凈度、室內壓力、風速、照度等均有一定的要求，因此潔凈度管控對無塵室性能的影響至關重要。若要控制好潔凈室的潔凈度，找到影響無塵室內潔凈度的因素非常關鍵。根據許多行業人士的細心分析，總結了下面一些影響因素：

建筑物表面會因為表面材料理化特性、室內環境影響、施工品質、表面污染難以清潔、塵埃粒子表面沉積等原因出現發塵問題。

空調系統一般有外循環系統和內循環系統，無論哪種系統，都靠精密過濾器對空氣質量進行保障，一旦過濾器出現泄漏或過濾效果不佳，都會增加污染環境的風險。

人是無塵室中最大的污染源。一個人通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，每分鐘脫落約1000片皮膚。人類的頭發一直在脫落，人類吐出的口水包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。人類的日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品和細菌。人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒。人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米的微粒。人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微米的微粒。人吸煙也會產生大量的Particle。

工廠的來料本身存在發塵現場、一些污跡的物品進入FAB前未進行清潔、一些難以搬運的設備在使用機械運輸過程中等都會造成發塵的問題。

機臺長時間運轉，設備硬件之間會發生不同程度的摩擦，進而產生一些碎屑污染環境。因此設備需要定期進行保養清潔。

在了解了發塵因素以后對無塵室管控就有了一定的方向，建議使用者可根據如下一下方面對自己的無塵環境進行綜合有效的管理：

高效過濾器及FRAME不能有泄漏；

室內必須維持設計之壓力；

作業人員必須更衣，經過風淋室后進入無塵室；

所有設備、工具、材料等必須清洗干凈后才能帶入無塵室；

1.?必須穿無塵衣；

2.?不可使用容易發塵的材料；

3.?減少不必要的動作；

4.?沒有必要的物品，不允許帶入；

1.?避免難以清掃清潔的角落存在；

2.?盡量減少風管、水管在無塵室內裸露；

3.?必須按照標準作業程序及規定時間進行清潔；

1.?增加換氣次數；

2.?在發塵源處增加排氣；

3.?改善氣流形狀避免Particle附著于產品上；

4.?施工中產生的廢材廢料必須及時進行清潔處理
lw