ADI在線研討會:微電子機械系統(tǒng)的性能及應用分析
MEMS是指大小在毫米量級以下，構(gòu)成單元尺寸在微米、納米量級的可控制的可運動的微型機電裝置，是集成微機構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號處理控制等功能于一體的系統(tǒng)。
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