昨日（9月9日），據(jù)《重慶日報》報道，奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產業(yè)基地項目通線投產，重慶市委相關領導出席了通線投產活動。

奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產業(yè)基地項目總投資達35億元，用地面積約230畝，位于西部（重慶）科學城，是西部科學城重慶高新區(qū)的重點產業(yè)項目之一，亦是重慶首個8英寸MEMS特色芯片全產業(yè)鏈項目。

▲來源：重慶西部科學城

奧松半導體重慶8英寸MEMS項目包括8英寸MEMS特色傳感器芯片量產線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級傳感器可靠性檢測中心、產學研科研中心及奧松半導體研發(fā)辦公大樓等建設項目。

據(jù)此前資料顯示，該MEMS芯片產線技術能力覆蓋CMOS+MEMS特色工藝，可全面開展表面硅、體硅以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)和量產；具有MEMS壓阻、壓電、硅光、磁材料、MOX、微流控等相關工藝的研發(fā)和量產設備，大幅提升產品研發(fā)的成功率，可實現(xiàn)各類MEMS半導體傳感器產品從研發(fā)到量產的無縫銜接。

據(jù)奧松半導體相關負責人透露，一期項目投產后，將形成每月10000片晶圓的產能。按照計劃，整個項目預計將在2026年12月實現(xiàn)達產。

“奧松構建了MEMS智能傳感器全產業(yè)鏈模式，實現(xiàn)傳感器從芯片研究到終端應用的完全自主研發(fā)、自主可控、定制化及高性價比；同時，保障客戶產品快速落地，消除供應鏈斷供的風險。”

▲奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產業(yè)基地項目效果圖

公開資料顯示，奧松半導體重慶8英寸MEMS項目于2023年2月，獲得國家相關部委批準，正式落戶西部（重慶）科學城，同年6月開工建設。

2025年1月，奧松半導體重慶8英寸MEMS項目一期項目FAB主廠房，建筑面積超過13萬平方米，此后，3號FAB主廠房、4號CUB配套動力廠房及2號研發(fā)廠房等主要建筑陸續(xù)封頂。

2025年7月，首臺8英寸生產線光刻機設備進場，光刻機是整個芯片制造過程中最關鍵的核心設備，首臺光刻機成功搬入，標志著項目全面進入設備安裝調試階段。隨后，用于晶圓制造、封裝測試、模塊生產、系統(tǒng)應用等各類工藝和輔助設備陸續(xù)進場，第二臺光刻機于8月搬入。

經過一個多月的調試，在昨天（9月9日），奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產業(yè)基地項目正式通線投產。

從2023年6月動工建設，到2025年9月投產，奧松半導體重慶8英寸MEMS項目僅用了2年3個月。

國內首家濕度傳感器企業(yè)！建成粵港澳大灣區(qū)首條6英寸MEMS產線！奧松電子的國產MEMS IDM艱難歷程

奧松電子成立于2003年9月，總部位于廣州開發(fā)區(qū)科學城，是應用MEMS半導體工藝技術生產傳感器特色芯片的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。

奧松電子采用自建晶圓生產線的IDM經營模式，擁有集研發(fā)、設計、制造、封裝測試、終端應用于一體的MEMS智能傳感器全產業(yè)鏈生產能力，

奧松電子主營傳感器產品種類豐富，有溫濕度傳感器、流量傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器、光學傳感器、磁傳感器、紅外傳感器、真空傳感器、水蒸氣傳感器、顆粒物傳感器、粒子探測器、各類變送器等。

目前，奧松電子創(chuàng)始人張賓為公司實控人，直接持股63.27%，為公司最大股東。

張賓出生于1980年7月，目前擔任奧松電子董事長兼首席科學家等職務，正高級工程師職稱。

據(jù)SensorExpo此前專訪奧松電子創(chuàng)始人張賓內容顯示，2003年，張賓開始濕度傳感器的研發(fā)，僅僅幾個月時間就研制成功第一款產品“電阻式濕度傳感器”并投入量產——奧松電子正式創(chuàng)立，成為國內第一家做濕度傳感器的企業(yè)。

作為奧松電子技術帶頭人，張賓先后主持和參與國家、地方和企業(yè)自主研發(fā)項目 120 余項，擁有自主知識產權超 150 件，廣東省名優(yōu)高新技術產品 19 件，參與起草國家標準 3 項。 2008年，國際上MEMS技術開始應用在傳感器芯片領域，張賓看好其未來前景，決定建設一條自主的MEMS傳感器產線。

2010年，MEMS半導體智能傳感器芯片生產線啟動建設，由于“無經驗可循、無資金可借、無人脈可用”的處境，以及來自部分股東的反對，該項目進展緩慢。
2016年，奧松電子MEMS生產線的建設維護累計砸進上億元，公司自有資金無法再支撐長期研發(fā)，因此奧松電子在2017年6月，引入由海匯投資和藍山商裕領投的A輪融資。

經過多年努力，2020年9月，奧松電子建成粵港澳大灣區(qū)首條6英寸MEMS智能傳感器芯片產線，進入量產，填補了粵港澳大灣區(qū)在智能傳感器制造領域的空白，奧松電子也完全掌握從設計研發(fā)、生產制造、封裝測試到終端應用的完整MEMS產業(yè)鏈條。

據(jù)此前規(guī)劃顯示，廣州奧松MEMS芯片產線分三期工程，一期制程節(jié)點為500 nm，可生產溫濕度傳感器、空氣質量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等，二期為250 nm，三期為180 nm。二期規(guī)劃在2021年生產，而三期預計在2023年生產，全部項目建成后將有4萬片/M的投片能力。

▲奧松電子廣州研發(fā)基地
顯然，在MEMS智能傳感器需求日益增長，技術要求越來越高的今天，奧松電子這條遲遲來到的6英寸芯片產線裝備與國際同行仍有一定差距，無法滿足各行業(yè)日益增長的高端需求，因此奧松電子著力新建一條8英寸MEMS芯片產線——顯然這影響了此前廣州奧松MEMS芯片產線的部分規(guī)劃。
2021年4月, 奧松電子宣布成立珠海子公司，擬建設8英寸MEMS生產線，但后續(xù)無進展消息。

直至2023年2月，奧松電子8英寸MEMS產線項目落戶西部（重慶）科學城消息公布，奧松電子的新MEMS產線終于落地。

可以看到，從6英寸MEMS芯片產線的建設到8英寸MEMS產線的推進，奧松電子的國產MEMS IDM戰(zhàn)略在克服重重困難中前行，這也是我國早期傳感器技術研發(fā)企業(yè)艱難發(fā)展的縮影。

奧松電子之所以堅持MEMS IDM路線，據(jù)此前南方財經采訪奧松電子副總經理陳新準時，其表示：

“奧松電子作為集設計研發(fā)、芯片制造、封裝測試以及終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產業(yè)鏈（簡稱IDM）企業(yè)，這種運作模式在國內的智能傳感器領域非常稀少。基于IDM模式，奧松電子對客戶需求快速響應，在短期內完成從研發(fā)到應用的整個流程，這是我們最核心的優(yōu)勢。國際幾大傳感器巨頭采取的都是IDM模式，所以這些公司能夠在產品的品類以及穩(wěn)定性方面達到優(yōu)秀水平。因此，奧松電子也選擇了同樣的運作模式，并且我們在企業(yè)的發(fā)展過程中感受到，IDM模式帶來的強大優(yōu)勢。例如，疫情導致國際貿易活動受到沖擊，IDM模式保證了公司各生產運營環(huán)節(jié)安全可控、正常運行，奧松電子未來也會繼續(xù)堅持這條路。”

值得一提的是，奧松電子MEMS芯片產線除進行IDM生產外，亦在2021年8月，啟動MEMS芯片代工業(yè)務。據(jù)介紹：

新冠疫情發(fā)生以后，全球芯片供應鏈受到很大影響，芯片交付面臨著嚴峻的挑戰(zhàn)，國內產業(yè)客戶在海外流片遇到了困難，紛紛呼吁奧松電子開放MEMS芯片代工業(yè)務。因此，奧松電子決定釋放部分產能，開啟MEMS芯片代工業(yè)務。經過一年的試運行，已成功與多家客戶聯(lián)合開發(fā)MEMS芯片，實現(xiàn)量產，并通過了性能測試和可靠性驗證，芯片性能、良率均達到設計指標要求。基于近20年MEMS領域的深入研究，奧松電子可以快速導入、快速驗證、快速打通所有工藝流程，為客戶提供定制化的特殊工藝開發(fā)和一站式芯片代工解決方案。

2024年8月份，奧松電子為首批合作客戶代工研發(fā)生物醫(yī)藥傳感器芯片并成功流片，該芯片具有低噪比、低功耗、高精度、高穩(wěn)定性的特征。奧松電子利用成熟的MEMS傳感器技術，快速研發(fā)出性能優(yōu)異的MEMS芯片，幫助客戶實現(xiàn)產品的創(chuàng)新性，并同時滿足客戶對經濟高效和性能優(yōu)異的雙重要求，增強企業(yè)產品在市場中的競爭力，緩解了企業(yè)缺芯的燃眉之急，為國內芯片供應提供安全保障。
資料顯示，自成立以來，奧松電子共進行了4輪融資，其中最值得關注的是2024年9月的D輪融資，該輪融資金額高達7億元，由重慶產業(yè)投資母基金與重科控股聯(lián)合領投，友博資本等機構跟投。

結語

隨著奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產業(yè)基地項目的正式投產，作為智能傳感器生產制造中的核心，有望帶動重慶等西部地區(qū)的MEMS產業(yè)發(fā)展，提升西部地區(qū)MEMS智能傳感器產業(yè)實力。

近年來，在國家政策的大力引導下，各地方紛紛出臺多項MEMS智能傳感器產業(yè)政策，多條MEMS芯片生產線已陸續(xù)建設、投產，我國MEMS智能傳感器產業(yè)已迎來發(fā)展高潮。