電子發燒友網報道（文/莫婷婷）近期，多家上市半導體設備公司均已公布上半年的財報數據。電子發燒友網統計了北方華創、中微公司、盛美上海、屹唐股份、華海清科、拓荊科技、京儀裝備、中科飛測、芯源微、先鋒精科、耐科裝備等11家的財報數據，從業績中看各家企業的發展情況。



頭部企業營收破百億，但“增收不增利”成行業陣痛

從營收來看，上述11家合計營收為336.93億元。營收最高的是北方華創，營收達到161.42億元，是唯一一家營收破百萬的企業。營收增長最為明顯的是拓荊科技。

北方華創業績的增長主要來自訂單與銷售規模擴大。市場需求旺盛，尤其是客戶對高端設備的需求推動各核心產品線放量。刻蝕設備、立式爐以及物理氣相沉積（PVD）設備三大產品線累計出貨量突破1000臺的歷史性里程碑。

北方華創通過持續拓展市場，訂單量顯著增加，帶動營業收入同比大幅增長29.51%，其中電子工藝裝備業務收入占比94.53%（152.58億元），成為增長主力。

拓荊科技實現收入高速增長，上半年營業收入達195.41億元，同比增加54.25%，主要得益于：先進制程驗證機臺（如PECVD Stack、ACHM等）通過客戶認證并規模化量產；新產品（如PF-300T Plus、Supra-D等）出貨量激增，累計出貨超3000個反應腔，進入超過 70 條生產線。

從凈利潤來看，中科飛測是凈利潤增長最為快速的企業。盡管該公司還處于虧損狀態，今年上半年的虧損了0.18億元，但凈利潤快速增長，達到73.01%，作為對比，2024年上半年的凈利潤虧損了0.68億元。凈利潤同比下降的原因主要系公司營收規模的持續穩定增長，以及研發投入占營業收入的比例同比有所下降等因素影響。其中，公司的研發費用同比增長83.19%。

此外，統計的11家企業有三家出現凈利潤下滑，包括拓荊科技、芯源微、先鋒精科。

增收不增利這一矛盾現象背后，折射出半導體設備賽道“高投入、長周期”的產業特性。在研發方面，拓荊科技報告期內的研發投入金額達到3.49億元，同比增長11.09%，研發投入占營業收入比例為17.87%。

此外，拓荊科技財報指出，驗證成本拖累短期利潤：第一季度新設備驗證階段毛利率較低（約15%-20%），而第二季度隨著量產突破回升至30%以上。

芯源微在報告中指出凈利潤下滑的原因：一是隨著公司規模的擴大， 管理費用、銷售費用等有所增加；二是匯率變動造成匯兌損失增加；三是公司持續加大研發投 入力度，研發投入增加。

芯源微研發費用同比增加12.87%至13.21億元，攤薄短期利潤；同時毛利率受部分新產品量產初期成本較高影響，整體承壓。

先鋒精科凈利潤為1.06億元，下滑了5.39%。主要是因為公司在業務擴張期，因新增產能利用率不足、人力成本上升以及內部效率有待優化等多重因素疊加，導致了成本上升、毛利率下滑，最終造成了“增收不增利”的局面。

從上述企業的業績情況看到，還處于行業技術攻堅期的半導體設備企業，會出現“增收不增利”的情況，短期需承受研發、擴產的沉沒成本，長期則需通過技術壁壘構建實現盈利躍遷。而頭部半導體設備企業，隨著原有產品線訂單量增長，新品帶來第二增長曲線，將依托規模效應與技術迭代雙重驅動，帶動盈利能力。


刻蝕霸主狂攬50億銷量，高端工藝設備需求激增
此次統計的11家半導體設備企業涉及刻蝕、薄膜沉積、封裝、清洗設備等細分領域。

在薄膜沉積設備領域，北方華創和拓荊科技是兩大重要玩家。

具體來看，北方華創的主力設備銷量攀升，刻蝕設備收入超50億元、薄膜沉積設備收入超65億元。在熱處理設備領域，已形成了立式爐和快速熱處理設備（RTP）的全系列布局，熱處理設備收入超10億元。今年3月，北方華創還宣布進軍離子注入設備市場，并發布多款12英寸離子注入設備。

拓荊科技在薄膜沉積設備領域加速新品布局，實現從跟隨到引領的技術跨越。PECVD設備是公司核心產品，也是芯片制造薄膜沉積工藝中運用最廣泛的設備種類。公司基于PF-300T Plus/Supra-D平臺的ONO疊層、ACHM等先進工藝設備已通過客戶端驗證，累計出貨超340個反應腔；ALD設備中，PE-ALD SiO?、SiCO等介質薄膜材料實現全面覆蓋，Thermal-ALD TiN出貨量持續攀升。

在產能布局方面，NF-300H（18片處理能力）和NF-300M Supra-H（24片處理能力）等高產能機型推動規模化生產。

據了解，拓荊科技的薄膜沉積設備在客戶端產線生產運行穩定性表現優異，平均機臺穩定運行時 間（Uptime）超過90%，達到國際同類設備水平。薄膜沉積設備在客戶端產線生產產品的累計流片量已突破3.43億片。

在封裝設備方面，芯源微的先進封裝產品線布局較為全面， 有涂膠機、顯影機、濕法刻蝕、濕法去膠、濕法清洗等。今年上半年，戰略新產品前道化學清洗機，簽單同比增幅較大；公司還在研發新一代前道涂膠顯影機，預計在今年發送到客戶端開展驗證，未來客戶端驗證完成后有望進一 步提升公司國內市占率。

芯源微表示未來，公司將繼續圍繞高端封裝，尤其是HBM、CoWoS等高端工藝的需求開展 研發，不斷為客戶提供更高性價比產品。

在清洗設備方面，盛美上海上半年營收同比勁增35.83%；凈利潤同比大增56.99%。清洗設備依舊是盛美上海的增長主動力，2025 年 3 月，公司自主研發的單晶圓高溫SPM設備已成功通過關鍵客戶驗證。同時電鍍設備的銷量相較去年同期也有了顯著，公司ECP設備第1500電鍍腔完成交付。此外，在需求端，二季度邏輯芯片和存儲芯片兩大領域的客戶需求均較為旺盛。

在產能方面，盛美上海臨港廠區共有兩個生產工廠，其中廠A已經投產，在滿產狀態下，可達到人民幣100億元的產能。目前臨港廠區的工 廠產能可以支持公司完成今年的65億元至71億元的業績指引目標 。預計明年臨港廠區的廠B將開始裝修，計劃 于明年下半年完成裝修后開始投產，正式投產后可以實現人民幣 200億元的年產值。


進入并購整合期，技術覆蓋持續拓寬

除了內生增長，外延式擴張也為公司發展注入了強勁動力。例如在濕法設備領域，北方華創通過資本收購芯源微拓展版圖，豐富了公司在前道物理清洗和前道化學清洗領域的布局。

今年上半年，公司濕法設備收入超5億 元。自6月30日起將芯源微納入合并財務報表范圍，因此以上收入不含芯源微濕法設備收入，預計在今年下半年，芯源微帶來的業績增長將逐漸凸顯。

此外，蘇大維格宣布擬以5.1億元收購光掩模缺陷檢測設備企業常州維普不超過51%股權、中微公司收購新加坡光刻輔助設備商 Vistec 部分資產、又如芯碁微裝向港交所提交上市申請。

不管是北方華創、蘇大維格的“買買買”，還是芯碁微裝的“走出去”，這都是中國半導體設備行業從“單點突破”邁向“體系化競爭”的標志性事件。

工信部出臺的《半導體設備產業高質量發展行動計劃》提出，2025 年底前培育 3-5 家營收超百億的設備集團。在利好政策的帶動下，半導體設備企業通過并購不僅能豐富企業的產品線，也能顯著增強了企業的核心競爭力和市場整體競爭力。