8月12日，調研機構CINNO Research最新統計數據，2025年上半年，中國半導體產業（含中國臺灣）總投資額為4,550億元，同比下滑9.8%，相比去年同比下降41.6%，已有明顯收縮之勢。但是與之相反的是，半導體設備投資逆勢增長53.4%，成為唯一實現正增長的領域，凸顯了中國在建立自給自足供應鏈方面的進展。

中國半導體設備投資的逆勢增長，本質上是一場被外部壓力倒逼的自主創新突圍戰。美國的禁令在限制中國獲得先進設備的同時，也激活了本土半導體設備的創新動能。本文將從三家公司的半年報預告和新品來解讀一下半導體設備市場變化。

圖：三家半導體設備上市公司2025年上半年業績預告 電子發燒友制圖

中微公司：上半年預期營收和凈利潤雙增長，研發創新帶動新品加快上市

7月17日，中微公司發布2025年上半年業績預告，2025年第二季度營收保持高速增長，預計營業收入約27.87億元，同比增長51.26%；同時，公司預計2025年半年度營收預計約49.61億元，同比增長約43.88%，實現歸母凈利潤6.8億元到7.3億元，同比增加31.61%到41.28%。

哪些因素驅動了公司業績的增長？中微公司披露，LPCVD 薄膜設備收入增長約608.19%，達1.99 億元。公司針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，在先進邏輯器件和先進存儲器件中多種關鍵刻蝕工藝實現大規模量產。

而凈利潤增長主要來自兩大驅動，一是2025 年上半年營業收入增長 43.88%下，毛利較去年增長約5.52 億元；二是研發創新帶動新品上市，提高產品凈利潤收入，2025年上半年公司研發投入約 14.92 億元，同比增長53.70%，公司目前在研項目涵蓋六類設備，超二十款新設備的開發。公司研發新產品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發一款新設備，現在只需兩年或更短時間就能開發出有競爭力的新設備，并順利進入市場，公司有望在未來幾年更大規模地推出新產品。

中微公司董事長、總經理尹志堯此前在接受媒體采訪時曾表示，等離子體刻蝕設備和薄膜沉積設備是除了光刻機以外非常重要、也是市場空間廣闊的關鍵設備。尤其是在芯片工藝從2D到3D發展，以及10nm以下的制程升級，刻蝕跟薄膜的應用總量跟步驟數大大增加，近年市場體量的增長很快。

在過去的20年間，中微公司共計開發了3代、18款刻蝕機，產品開發節奏不斷加快，并且應用于主流客戶及產品市場。今年6月，中微公司宣布，Primo Menova?12寸金屬刻蝕設備全球首臺機順利付運國內一家重要集成電路研發設計及制造服務商，此項里程碑既標志著中微公司在等離子體刻蝕領域的又一自主創新。

在等離子體刻蝕領域，中微公司基本可以全面覆蓋（不同應用），包括成熟及先進邏輯器件、閃存、動態存儲器、特殊器件等，并且已經有95%到99%的應用都有了批量生產的數據或客戶認證的數據?！拔覀兒芸鞂褔H對國內禁運的20多種薄膜設備開發完成，預計到2029年完成所有開發。” 中微公司董事長、總經理尹志堯表示。

盛美上海：凈利潤同比增長56.99%，在三大領域躋身世界前四

8月6日，盛美上海發布2025年半年報，上半年公司實現營業收入32.65億元，同比增長35.83%；歸屬于上市公司股東的凈利潤達到6.96億元，同比增長56.99%；歸屬于上市公司股東的扣除非經常性損益的凈利潤為6.74億元，同比增長55.17%。

財報披露，盛美上海營收快速增長主要來自兩大因素：一、主要原因是中國大陸市場需求強勁，公司憑借技術差異化優勢，成功把握市場機遇，積累了充足訂單儲備；二、公司深入推進產品平臺化，產品技術水平和性能持續提升，產品系列日趨完善，滿足了客戶的多樣化需求，市場認可度不斷提高，為收入增長提供了有力支撐。

8月6日在投資者開放日活動中，盛美上海透露公司第三季度訂單已排滿，第四季度也即將排滿，這也向外界預示下半年公司將保持良好發展趨勢。

盛美上海已成長為具有國際競爭力的半導體設備供應商之一，產品獲得眾多中國和國際主流半導體廠商的認可。在半導體清洗設備領域，據Gartner統計，公司全球市場占有率達8.0%，位居全球第四；根據部分中國廠商統計，公司單片清洗設備中國市場占有率超30%，排名第二。在半導體電鍍設備領域，公司全球市場占有率達8.2%，位列全球第三。

2025年6月30日，盛美上海ECP設備1500電鍍腔順利交付，標志著盛美上海在產品迭代升級與市場拓展方面取得突破，此次交付的ECP設備1500電鍍腔，在穩定性、精度和效率等方面均達到了行業領先水平，能夠滿足客戶在半導體制造過程中的多樣化需求。

拓荊科技：Q2業績高速增長，半導體設備國產替代加速

7 月17 日，公司發布2025 年半年度業績預告，公司實現營業收入19.19-19.69 億元，同比增長51.45%-55.40%；歸母凈利潤0.91-1 億元，同比減少29.47%-22.5%;扣非后歸母凈利潤0.35-0.44 億元，同比增長74.14%-119.24%。

財報披露，拓荊科技2025 年第二季度實現營業收入 12.1億元至 12.6億元，同比增長 52%至58%。經財務部門初步測算，預計公司2025年第二季度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤2.38億元至2.47億元，同比增長101%至108%。

為何第二季度可以實現營收和凈利潤大幅度增長？拓荊公告顯示，公司積極把握半導體設備國產替代的戰略機遇，依托薄膜沉積設備（PECVD/ALD/SACVD/HDPCVD/Flowable CVD）和三維集成領域的先進鍵合設備及配套量檢測設備的技術領先優勢，產品成熟度及性能優勢獲得客戶廣泛認可，市場滲透率進一步提升，收入持續高速增長。

2025年二季度起，公司迎來營收和盈利雙爆發，主要是基于新型設備平臺和新型反應腔等先進工藝薄膜設備陸續通過客戶驗收，量產規模不斷擴大。二季度毛利率環比大幅改善，期間費用率同比下降，體現出規模效應。

經過多年的高強度自主研發，拓荊科技推出了數款鍵合設備，其中芯片對晶圓鍵合前表面預處理產品已實現量產，在國內具有領先優勢。新款鍵合設備的驗證成功為公司未來的進一步增長奠定了基礎。

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