TSV 三維封裝技術特點鮮明、性能好、前景廣闊， 是未來發展方向，但是 TSV 堆疊芯片這種結構和工 藝復雜性的提高，為三維封裝的可靠性控制帶來了 挑戰。主要體現在以下 4 個方面 ：（1） TSV 孔質量和 信賴性保證難度大 ；（2） 多層芯片堆疊結構的機械穩 定性控制難度大 ；（3） 芯片間熱管理和散熱解決方案 復雜 ；（4） 芯片測試和故障隔離、定位困難。

2.1 TSV 孔的質量和可靠性問題

作為三維集成電路中的垂直互連通道，TSV 孔 的質量和可靠性對系統性能至關重要。隨著集成度 的不斷提升，TSV 孔的關鍵尺寸正在向著超高縱橫 比 （ 深寬比大于 20:1） 和微米級甚至亞微米級孔徑 （ 小 于 10μm） 發展。這給 TSV 孔的制造工藝帶來了巨 大挑戰。當前 TSV 孔存在的主要質量與可靠性問題 集中在以下 4 個方面。

（1）TSV 孔的形狀和側壁角度難以精確控制 ；

（2） 絕緣層與阻擋層的保形性與界面粘附力難以保證 ；

（3）TSV 孔內部難以實現無空洞的充填 ；

（4）TSV 周邊多余的填充材料難以清除。

TSV 孔存在的上述工藝缺陷會導致其在后續操 作和使用中出現兩大類可靠性問題 ：

（1）TSV 的絕緣層不連續或有缺陷，會使 TSV導體與芯片的體硅之間發生漏電，或者 TSV 和地之間的短路可能會導致功能異常。

（2）TSV 通孔中或連接通孔導電材料存在空洞， 空洞可以隨著時間推移而增長，從而導致開路。

這兩類故障機制削弱了 TSV 的導電可靠性 ， 是 影響三維集成電路可靠性的主要因素，也是當前研 究的重點難題。

2.2 三維堆疊過程中的質量問題

TSV 堆疊芯片在進行三維封裝制造過程中，一 般包括多個物理平面間互連堆疊起來工藝，這一堆 疊的過程可以由晶圓—晶圓 （Wafer to Wafer，W2W）、 芯片—晶圓 （Die to Wafer，D2W） 或芯片—芯片 （Die to Die，D2D） 等方式實現，制造過程比傳統 2D 封裝 的集成電路復雜，也更容易產生缺陷和失效。當前 的質量問題主要有以下 5 個方面。

（1） 電應力問題 ：TSV 實質是穿過硅襯底的金屬 線 （ 一般采用 Cu），其周圍需要采用隔離介質 （ 一般 采用 SiO2） 防止 Cu 離子向硅芯片擴散。但這就形成 了金屬—氧化物—半導體 （MOS） 結構。這個 MOS 結構電容會導致 ：TSV 信號通過耦合的形式干擾周圍器件，產生信號失真 ；MOS 電容通道中的漏電流 增加，提高了芯片的靜態功耗。

（2） 熱應力問題 ：在 TSV 制作過程中，首先需 要在硅晶圓上刻蝕窄而深的孔，然后填充上隔離材 料，最后電鍍 Cu。TSV 和硅片經多次熱循環，最 后的退火和冷卻過程會給整個結構帶來巨大的溫差 （250 ℃ ）。由于金屬材料尤其是銅 （Cu） 和硅片熱膨 脹系數 （CTE） 的不匹配，會在 TSV 周圍的硅襯底內 引入很大的熱應力，從而影響熱載流子遷移率、器 件性能以及長期可靠性。

（3） 機械應力問題 ：TSV 是使芯片疊層連接到其 他疊層和單元。所有這些界面可能來自不同的芯片， 在鍵合過程中，機械應力的存在使芯片間界面開裂 或 TSV 垂直互連處鍵合材料的失效，封裝結構的機 械穩定性降低，從而導致 TSV 堆疊芯片的短路或開 路失效。

（4） 熱管理問題 ：TSV 三維集成電路通過垂直堆 疊，極大地提高了單位面積的芯片密度，這導致相 比二維集成電路，三維集成電路中的熱密度急劇增 加。疊加使用的垂直鍵合材料本身熱導率低 ， 難以進 行有效的熱傳遞，尤其是距離散熱器最遠的頂層芯 片存在嚴重的熱累積問題，熱密度過高會導致芯片 性能衰減、加速老化以及潛在的永久失效。

（5） 電性能測試問題 ：在 TSV 三維堆疊封裝結 構中 ， 多個芯片被垂直堆疊和互連，這使得確保每個 芯片的電性能符合規范，以及測試最終堆疊后芯片 的整體電性能變得非常具有挑戰。主要的測試難點 包括 ：堆疊前各個裸片的測試重復性與可靠性較差 ；堆疊芯片后信號無法直接進行探針測試 ；故障的定 位與隔離難度大。

目前國際上有 JEDEC 于 2009 年發布的 JEP 158— 2009 “3D chip stack with through-silicon vias（TSVS） ：Identitying，evaluating and understanding reliability interactions ”（《硅通孔 3D 堆疊芯片 可靠性的相互 作用的識別、評估和理解》），專門針對 TSV 三維封 裝的可靠性評估與保障。

該標準提出根據 TSV 三維堆疊芯片產品、工藝 的實際情況，由 TSV 三維堆疊芯片生產商編制試驗 方案，確定采用的試驗方法、試驗條件、抽樣數、 失效判據以及需關注的特定失效模式。

對 TSV 三維封裝進行可靠性驗證試驗時，可以 采用專門設計的試驗結構或直接使用產品級 TSV 堆 疊芯片。與產品級芯片相比，精心設計的試驗結構 在進行失效檢測和分析時具有明顯的優勢 ：試驗結 構通過精確控制敏感區域，可以有效放大某一失效 機制的特征 ；試驗結構針對特定缺陷設計相應的傳 感與監測機制，可以實現目標的實時檢測 ；試驗失 敗后，可以通過預埋的分析單元讓失效部位得以快 速準確地定位和分類。

相比之下，在產品級芯片的電參數測試中檢測 出異常情況，要準確定位與識別 TSV 相關的故障機 制幾乎是不可能的。因此，合理設計的 TSV 專用試 驗結構，將大大提高工藝流程中缺陷檢測效率與質 量提升速度，是開發與驗證 TSV 制程的重要手段。

根據 TSV 堆疊芯片工藝中失效模式，JEP 158— 2009 給出了可靠性應力以及推薦的檢測方法，見下表。

為了有針對性地檢測 TSV 三維封裝的故障模 式 ， 可以設計特定的試驗結構 （ 見表 1） 進行可靠性驗證試驗。這些試驗結構通過精心布局，可以放大 某一故障機制的特征。例如，鏈狀或蛇形的 TSV 結 構，可以用于檢測“體硅漏電”“金屬界面分層”等 電遷移故障。對專門設計的試驗結構進行吸潮預處 理、溫度快速變化、溫度濕度偏置 / 強加速穩態濕熱 （HAST）、高溫貯存等試驗，完成后再進行開短路測試、 超聲掃描、光學檢查，檢查導電性能的損傷，結構 內部的空洞缺陷以及界面的分層或裂紋。通過電學 測試與物理分析的結合，可以明確對應特定可靠性 試驗后，TSV 結構中的缺陷類型、位置、失效機制等， 從而對工藝過程進行優化。

通過這種針對性的可靠性驗證方案，讓企業充 分考量并驗證 TSV 三維封裝產品中的潛在故障機制、 故障模式，是保證產品質量的有效手段。JEP 158— 2009 標準的制定可以幫助制造商和用戶更好地了解 TSV 技術的可靠性和相互作用，改善 TSV 技術的可 靠性和穩定性，推動了三維封裝技術的工業化進程 與風險控制，該標準對于 TSV 三維堆疊芯片的制造 和應用具有重要的指導意義。

但是 JEP 158—2009 也有局限性，如 ：沒有給出 明確的可靠性試驗類型選取參考 ；缺乏針對不同故 障機制的標準化試驗條件推薦 ；未規定明確的判定 試驗結構失效的量化標準。

這些內容的缺失會導致不同 TSV 堆疊芯片生產 企業，在確立可靠性驗證方案時存在明顯差異 ：采用 的試驗類型及嚴苛條件可能不同 ；判定試驗結構失 效的界限不一致。因此，這將導致不同廠商的 TSV 產品可靠性水平與工藝成熟度難以在行業內實現 統一。