ASML 首臺新款 EUV 光刻機 Twinscan NXE:3800E 完成安裝
3 月 13 日消息，光刻機制造商 ASML 宣布其首臺新款 EUV 光刻機 Twinscan NXE:3800E 已完成安裝，新機型將帶來更高的生產效率。
▲ ASML 在 X 平臺上的相關動態
ASML 官網尚未上線 Twinscan NXE:3800E 的信息頁面。
除了正在研發的 High-NA EUV 光刻機 Twinscan EXE 系列，ASML 也為其 NXE 系列傳統數值孔徑 EUV 光刻機持續更新升級，未來目標在 2025 年推出 NXE:4000F 機型。
上兩代 NXE 系列機型 3400C 和 3600D 分別適合 7~5、5~3 納米節點生產，德媒 ComputerBase 因此預測 3800E 有望支持 3~2 納米的尖端制程。
根據 ASML 此前分享的 2021 版路線圖，Twinscan NXE:3800E 系統將相較上代 3600D 在對準精度（Overlay）和產能上進一步提升，可實現 195 片晶圓的每小時吞吐量，相較 3600D 的 160 片大幅提升近 22%，并有望達到 220 片的目標（對應提升 37.5%）。
審核編輯 黃宇
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