近日，北方華創科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創”）正式發布應用于晶邊刻蝕（Bevel Etch）工藝的 12 英寸等離子體刻蝕機 Accura BE，號稱實現國產晶邊干法刻蝕設備“零”的突破，為我國先進芯片制造量身打造良率提升高效解決方案。

據介紹，在器件制造過程中，由于薄膜沉積、光刻、刻蝕和化學機械拋光等工藝步驟的大幅增長，在晶圓的邊緣造成了不可避免的副產物及殘留物堆積，這些晶邊沉積的副產物及殘留物驟增導致的缺陷風險成為產品良率的嚴重威脅。

因此，越來越多邏輯及存儲芯片等領域制造商開始重點關注 12 英寸晶圓的邊緣 1mm 區域，從晶圓的邊緣位置著手提高芯片良率。晶邊刻蝕機作為業界提升良率的有力保障，其重要性日益凸顯。

Accura BE 作為首臺國產 12 英寸晶邊刻蝕設備，其技術性能“已達業界主流水平”，附官方宣傳亮點如下：

通過軟件系統調度優化與特有傳輸平臺的結合，可助力客戶實現較高的產能；

通過選擇搭配多種刻蝕氣體，實現對 PR（光刻膠），OX（氧化物），SiN（氮化硅），Carbon（碳），Metal（金屬）等多類膜層材料的晶邊刻蝕工藝全覆蓋；

可定制多種尺寸的聚焦環設計組合，實現對等離子體刻蝕區域的精準位置控制，從而為客戶提供靈活、全面的良率提升方案；

具備軟件智能算法，可實施可視化的量化調節，簡化維護流程，提高設備生產效率。

北方華創表示，Accura BE 剛發布上市，就已斬獲邏輯及存儲器領域頭部客戶多個訂單，通過工藝調試，進入量產階段。