綜合外電報道,當地時間14日晚9時30分許,光刻膠供應商陶氏化學(Dows Chemical)美國路易斯安那州的普普拉克明工廠發生爆炸。
就此次事件,陶氏化學發表聲明稱,該工廠于7月14日發生火災,就此次事件,正在與當地及州機構密切合作。所有人員都被判定為安全,空氣檢查中沒有檢測出空氣中的有害物質。事故原因還在調查中。
陶氏化學作為半導體核心化學材料的世界主要供應商,不僅擁有高純度化學產品系列,還提供一系列的光控材料,包括光控粘合劑、光控溶劑、光控輔助劑等。陶氏化學也是cmp (化學機械拋光技術)的主要供應商,其中包括聚合物墊、聚合物溶液等。
去年4月,普拉克明-路易斯安那州的陶氏化學工廠發生火災,導致氯氣泄漏。據悉,發生事故的公司是Olin,是陶氏化學的普拉克明地區第3方租賃企業。
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