9.6.8 化學機械拋光墊和化學機械修整盤∈《集成電路產業全書》
Chemical Mechanical Polishing Pad and Conditioning Disc
撰稿人：安集微電子科技(上海)股份有限公司 王淑敏
http://page.anjimicro.com
審稿人：浙江大學 余學功
https://www.zju.edu.cn
9.6 工藝輔助材料
第9章 集成電路專用材料
《集成電路產業全書》下冊
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