UV-CMP拋光機有兩種工作模式：連接超聲振動信號和關閉超聲振動信號接入。UV-CMP拋光機的設備工作步驟如下：第一，超聲信號發生器生成一定頻率和波形的電信號；第二，超聲電信號傳輸給功率放大器，使電信號達到超聲轉換裝置工作的電壓和功率；第三，放大的電信號傳輸給超聲轉換裝置，使得超聲電信號轉換成同頻率的機械振動。經過上面的三個步驟，CMP拋光機升級為UV-CMP，傳統的化學機械拋光也升級為超聲振動輔助化學機械拋光。關閉超聲信號發生器上的開關，UV-CMP拋光機轉換成傳統化學機械拋光工作模式。

信號發生器輸出的驅動信號不足以使超聲轉換裝置正常工作。因此還需配置功率放大器，將電驅動信號進行放大。經過放大的電信號可以使超聲轉換裝置正常工作。功率放大器選用Aigtek-ATA-68020，電壓是850Vp-p，最大輸出電流是2.12Ap。

實驗名稱：超聲化學機械拋光設備

實驗原理：超聲信號發生器生成一定頻率和波形的電信號，但該信號不足以使超聲轉換裝置正常工作。此時需要功率放大器，它將超聲信號發生器輸出的驅動信號進行放大，把放大后的電信號傳輸給超聲轉換裝置，使電信號達到超聲轉換裝置工作所需的電壓和功率，確保超聲轉換裝置能正常運行。比如實驗中選用的Aigtek-ATA-68020功率放大器，其最大輸出電壓是850Vp-p，最大輸出電流是2.12Ap，能滿足超聲轉換裝置的工作要求。

實驗框圖：

實驗過程：超聲轉換裝置即實現超聲電信號轉換成機械振動信號功能的裝置經過功率放大器放大的電信號通過壓電陶瓷片轉換成機械振動信號，此時的機械振動信號具有與電信號相同的頻率。喇叭形蓋板可將機械信號進行一定程度的放大。又因為蓋板直抵樣品托，因此放大后的機械信號可將機械振動傳遞給樣品托。從信號發生器產生超聲信號，到功率放大器放大超聲信號，再到轉換裝置將超聲信號轉換成機械振動信號，最后機械振動信號經放大后導致樣品托產生振動。經過這樣一套流程，CMP拋光機可變身為UV-CMP設備。

應用方向：芯片封裝拋光，航空航天零部件拋光，醫療器械加工，反射鏡拋光等方向

應用場景：超聲導波、沖擊損傷、磁致伸縮換能器、壓電極化、損傷定位、管厚測距、超聲清洗等

產品推薦：ATA-2000系列高壓放大器

圖：ATA-2000系列高壓放大器指標參數

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審核編輯 黃宇