賽微電子北京產線MEMS生物芯片通過驗證并啟動試產
1月10號，賽微電子公告，控股子公司賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS(簡稱為微機電系統)生物芯片通過了客戶驗證，該客戶已同步簽署試產訂單，啟動首批MEMS生物芯片8英寸晶圓的小批量試生產。
MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復雜功能集成內置在芯片中，同時可以實現生物芯片的高靈敏度、高準確性、微創應用及低成本、大批量生產。
自2020年9月通線以來，賽微電子北京FAB3產線已經成功導入十余家國內外知名MEMS客戶，已經開展合作的產品項目超過40個，正在持續推動MEMS硅麥、電子煙開關、慣性器件、BAW（含FBAR）濾波器、振鏡、氣體、微流控、光通信等不同類別、不同型號產品的工藝開發及產品驗證。
審核編輯黃宇
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