SK海力士已開始安裝EUV光刻機，以量產10nm 1a DRAM
據etnews報道，SK海力士已開始在其位于韓國利川的M16工廠安裝EUV光刻機，以量產10nm 1a DRAM。
此前SK海力士宣布將在今年年內在M16廠建設產線以生產下一代DRAM，不過并未透露ASML EUV光刻機的引進方式、確切時間等。
因此業(yè)內人士有諸多揣測，包括將研究大樓R3的2臺EUV光刻機轉移至該產線，并計劃于今年2月開始安裝新購買的設備等。現(xiàn)在看來，SK海力士新設備的購買和安裝速度快于業(yè)界預期。
該報道指出，EUV光刻機的安裝時程需要3-6個月，因此SK海力士最快可以在今年上半年量產第一批產品。
據悉，ASML是EUV光刻機的獨家供應商，單臺的售價超過1.35億美元。
責任編輯：xj
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